[發(fā)明專利]一種基板固定結(jié)構(gòu)及基板運(yùn)送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810961231.7
• 申請(qǐng)日: 2018-08-22
• 公開（公告）號(hào): CN109192693B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代青
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

用于承載基板的承載臺(tái)；

設(shè)置于所述承載臺(tái)的承載面上的微細(xì)纖維陣列，所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維具有磁性，在無外部磁場(chǎng)時(shí)，通過與所述基板接觸產(chǎn)生的范德華力吸附固定基板，在有外部磁場(chǎng)時(shí)，與外部磁場(chǎng)產(chǎn)生相互作用并發(fā)生彈性變形，以與所述基板分離；

以及，設(shè)置于所述承載臺(tái)上，用于控制所述承載臺(tái)的承載面一側(cè)產(chǎn)生磁場(chǎng)的磁場(chǎng)產(chǎn)生部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維的尺寸為微米或納米級(jí)別。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維的尺寸為：所述微細(xì)纖維的長(zhǎng)度為10-100μm、直徑為1-10μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維包括與所述承載臺(tái)固定的第一端及與所述第一端相對(duì)設(shè)置的用于吸附基板的第二端，其中所述第一端不具有磁性，所述第二端具有磁性。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維采用熱塑性聚合物、彈性聚合物中的至少一種與納米顆粒混合而成，所述納米顆粒為具有磁性的納米顆粒。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述彈性聚合物包括二甲基硅氧烷、聚氨酯和聚氨酯丙烯酸酯中的一種或多種；

所述熱塑性聚合物包括聚乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯和聚酰亞胺中的一種或多種。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述彈性聚合物的彈性模量為0.1～100 MPa；

所述熱塑性聚合物的楊氏模量范圍為100 MPa ~1GPa。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或4或5所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述磁性為順磁性。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或4或5所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述磁性為超順磁性。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述磁場(chǎng)產(chǎn)生部包括：通電時(shí)產(chǎn)生磁場(chǎng)的電磁裝置；或者，永磁體裝置，所述永磁體裝置以可移動(dòng)或可拆卸的方式設(shè)置于所述承載臺(tái)的背離所述承載面的一側(cè)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述磁場(chǎng)產(chǎn)生部包括相反極性的第一磁極和第二磁極，其中，所述第一磁極和所述第二磁極交錯(cuò)設(shè)置、陣列分布于所述承載臺(tái)的背離所述承載面的一側(cè)。

12.一種基板運(yùn)送裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至11任一項(xiàng)所述的基板固定結(jié)構(gòu)。