[發明專利]可持續利用多用探測卡

在審

• 申請號: 201810959333.5
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN109188240A
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 王曉云;范宇平;張東升
• 申請（專利權）人: 安徽信息工程學院
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 張苗

1.一種可持續利用多用探測卡，其特征在于，包括：基座(1)、對準卡(3)、針托架(4)、緩沖框(5)、緩沖墊(7)和固定卡(8)；所述對準卡(3)套設于芯片(2)的外部并能夠將所述芯片(2)固定于所述基座(1)；所述針托架(4)上設置有測試針，所述測試針的一端位于所述芯片(2)的頂部且所述緩沖框(5)覆蓋于所述對準卡(3)的頂部以使得所述測試針、對準卡(3)相接觸，所述測試針的另一端通過連接孔(6)固定于所述基座(1)上；所述緩沖框(5)的兩側分布有緩沖墊(7)，所述固定卡(8)位于緩沖墊(7)的頂部以使得所述緩沖墊(7)固定于所述基座(1)的頂部。

2.根據權利要求1所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述芯片(2)通過凝膠固定于所述基座(1)上。

3.根據權利要求1所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述芯片(2)上的晶圓間形成壓有基準線，所述對準卡(3)的內緣能夠對準所述基準線。

4.根據權利要求1所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述芯片(2)的固定位置由所述芯片(2)的尺寸開口決定以便于EMMI/OBIRCH反面抓熱點。

5.根據權利要求1所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述所述針托架上的多個測試針平行間隔設置。

6.根據權利要求1所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述測試針為平針。

7.根據權利要求1所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述針托架(4)的中間開口大小依據芯片(2)的大小而調整。

8.根據權利要求5所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，相鄰兩個所述測試針間的距離根據緩沖墊(7)相應的信息測試調整。

9.根據權利要求1所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述緩沖框(5)為斜角框。

10.根據權利要求9所述的可持續利用多用探測卡，其特征在于，所述緩沖框(5)為橡膠框。