[發明專利]顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法

在審

• 申請號: 201810958975.3
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN109994656A
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 徐宗吾;金俊亨;金志桓;金惠順;柳壎澈;蘇炳洙;李童敏;李東成;李鎬錫
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 崔今花;周艷玲

本發明的實施例提供一種顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法，其使吸附到視窗的揮發性物質最小化。所述顯示裝置的制造裝置包括：腔室，用于收納配置有非晶硅的基板，并且通過向所述非晶硅照射準分子激光來將所述非晶硅結晶化為多晶硅；導向部，與所述腔室連接，并且用于使所述準分子激光折射而引導到所述腔室；激光生成部，與所述導向部連接，并且用于向所述導向部照射所述準分子激光；和供氧部，與所述激光生成部連接，并且用于在經過已設定的周期之后將氧供給到所述激光生成部。因此，本發明實施例的顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法能夠在生成準分子激光時將視窗維持為與初始狀態相似，從而能夠防止透射率的下降。

技術領域

本發明的實施例涉及一種裝置及方法，更詳細而言，涉及一種顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法。

背景技術

以移動性為基礎的電子設備得到廣泛的應用。作為移動用電子設備，除移動電話等的小型電子設備以外，最近還廣泛使用平板電腦。

為了支持多種功能，這種移動型電子設備包括顯示裝置，以將如圖像或視頻等的視覺信息提供給用戶。最近，隨著用于驅動顯示裝置的其他部件的小型化，顯示裝置在電子設備中所占的比重呈逐漸增加趨勢，并且正在開發在平坦的狀態下可彎曲成具有規定角度的結構。

發明內容

通常在顯示裝置的制造中，在將非晶硅結晶化為多晶硅時可生成準分子激光并向非晶硅照射該準分子激光。此時，準分子激光可通過視窗向外部照射，但在這種情況下可能會產生在生成準分子激光時電極與氯化氫反應而生成的揮發性物質被吸附到視窗的問題，因此本發明的實施例提供一種使吸附到視窗的揮發性物質最少化的顯示裝置的制造裝置及顯示裝置的制造方法。

本發明的一實施例公開一種顯示裝置的制造裝置，其包括：腔室，用于收納配置有非晶硅的基板，并且通過向所述非晶硅照射準分子激光(Excimer laser)來將所述非晶硅結晶化為多晶硅；導向部，與所述腔室連接，并且用于使所述準分子激光折射而引導到所述腔室；激光生成部，與所述導向部連接，并且用于向所述導向部照射所述準分子激光；和供氧部，與所述激光生成部連接，并且用于在經過已設定的周期之后將氧供給到所述激光生成部。

在本實施例中，所述激光生成部可包括：外殼，用于收容在內部的氣體；第一電極及第二電極，配置在所述外殼的內部，并且彼此相對配置，以便通過使所述氣體中的一部分等離子化來生成準分子激光；和視窗，配置在所述外殼，并且供所述準分子激光透射。

在本實施例中，所述第一電極及第二電極中的至少一個可包含銅和鎢中的至少一種。

在本實施例中，在所述激光生成部的內部收容有氣體，收容到所述激光生成部的內部的氣體可包含氯化氫(HCl)、氙(Xe)及氖(Ne)。

在本實施例中，已設定的周期會多次到來，在多次周期中的一部分周期向所述激光生成部補充氯化氫，在多次周期中的其他一部分周期通過所述供氧部將氧注入到所述激光生成部中。

在本實施例中，所述供氧部可以在所述激光生成部的總使用周期內以30ppm以上且200ppm以下的濃度向所述激光生成部供給氧。

在本實施例中，所述供氧部可以以與惰性氣體混合的狀態向所述激光生成部供給所述氧。

在本實施例中，所述氧可以是所述氧和所述惰性氣體的總重量的3％。

本發明的另一實施例公開一種顯示裝置的制造裝置，其包括：腔室，用于收納配置有非晶硅的基板，并且通過向所述非晶硅照射準分子激光(Excimer laser)來將所述非晶硅結晶化為多晶硅；導向部，與所述腔室連接，并且用于使所述準分子激光折射而引導到所述腔室；激光生成部，與所述導向部連接，并且在所述激光生成部的內部配置有電極，從而所述激光生成部生成所述準分子激光并向所述導向部照射所述準分子激光；和供氧部，與所述激光生成部連接，并且用于向所述激光生成部供給氧，所述電極包含銅(Cu)及鎢(W)中的至少一種。