[發明專利]適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法

有效

• 申請號: 201810945499.1
• 申請日: 2018-08-20
• 公開（公告）號: CN109277357B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 熊志紅;張遠
• 申請（專利權）人: 深圳仕上電子科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市輝泓專利代理有限公司 44510
• 代理人: 袁輝;吳杰輝

本發明公開一種適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，該方法包括下述步驟：S1、化學清洗：采用氨水雙氧水溶液對工件進行浸泡處理，采用的氨水雙氧水溶液為體積比為H₂O₂：H₂O：NH₄OH＝(2.5?3.5)：(3.5?4.5)：(0.5?1.5)配制而成；S2、純水漂洗；S3、采用硝氟酸進行中和反應，采用的硝氟酸采用硝酸和氫氟酸配比而成，配比時，各溶液的體積比為HNO₃：HF：H₂O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗；S5、將工件在DI Water中常溫浸泡10分鐘以上；S6、工件表面pH測試；S7、超聲波震蕩清洗；S8、工件表面pH測試；S9、CDA吹干；S10、超聲波震蕩清洗；S11、加熱干燥；S12、自然冷卻。

技術領域

本發明公開一種陶瓷部品的清洗方法，特別是一種適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，屬于特種清洗技術領域。

背景技術

AMAT eMax CT＋部品中的Insulator Ring、AMAT DPS 部品中的：Ceramic Lid、Gas Injector、Ion Port以及Screw Cover Ring等，其表面均為陶瓷作為表面附著物，在長時間使用后，工件表面難免會附著些雜質，因此定期清洗就成了此類工件必不可少的工作，此種工件的本體是陶瓷，表面是金屬附著物（鋁/光刻膠），常規的工件表面清洗手段不能很好的去除工件表面的雜質，清洗效果不好。

發明內容

針對上述提到的現有技術中的附著物為陶瓷部品去除工件表面的雜質效果不好的缺點，本發明提供一種適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其采用化學浸泡加超聲波振蕩清洗相結合的方式，可簡單快捷的去除工件表面的雜質。

本發明解決其技術問題采用的技術方案是：一種適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，該方法包括下述步驟：

S1、化學清洗：采用氨水雙氧水溶液對工件進行浸泡處理，采用的氨水雙氧水溶液為體積比為H₂O₂：H₂O：NH₄OH=（2.5-3.5）：（3.5-4.5）：（0.5-1.5）配制而成，采用的水為電阻率大于或等于12MΩ·CM的超純水，5浸泡溫度為45℃±5℃，反應時間為3-5小時，每隔半小時觀察一次，直至目測工件表面無殘留膜為止；

S2、純水漂洗：將步驟S1處理后的工件撈出，放入流動的純水中浸泡沖洗30分鐘以上；

S3、采用硝氟酸進行中和反應，采用的硝氟酸采用硝酸和氫氟酸配比而成，配比時，各溶液的體積比為HNO₃：HF：H₂O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23）；

S4、擦洗：將工件在DI Water中采用無塵布進行擦洗；

S5、將工件在DI Water中常溫浸泡10分鐘以上；

S6、工件表面pH測試：對工件表面的殘留水進行pH值測試，如果其pH

值滿足6-7，則轉入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，則返回步驟S5，重新浸泡清洗；

S7、超聲波震蕩清洗：將部品放進帶有超音波的DI Water槽中，進行超聲波震蕩清洗30分鐘以上，采用有效功率為1.2Kw的超聲波進行超聲波震蕩清洗，超聲波震蕩清洗時要向超聲波清洗槽中持續通入去離子水，保持水槽中的水從水槽上面不斷溢流；

S8、工件表面pH測試：對工件表面的殘留水進行pH值測試，如果其pH值滿足6-7，則轉入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，則返回步驟S7，重新浸泡清洗；

S9、CDA吹干：采用經過0.1μm過濾器過濾過的CDA對工件表面吹干；