[發明專利]適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法

有效

• 申請號: 201810945499.1
• 申請日: 2018-08-20
• 公開（公告）號: CN109277357B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 熊志紅;張遠
• 申請（專利權）人: 深圳仕上電子科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市輝泓專利代理有限公司 44510
• 代理人: 袁輝;吳杰輝

1.一種適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的方法包括下述步驟：

S1、化學清洗：采用氨水雙氧水溶液對工件進行浸泡處理，采用的氨水雙氧水溶液為體積比為H₂O₂：H₂O：NH₄OH=（2.5-3.5）：（3.5-4.5）：（0.5-1.5）配制而成，采用的水為電阻率大于或等于12MΩ·CM的超純水，浸泡溫度為45℃±5℃，反應時間為3-5小時，每隔半小時觀察一次，直至目測工件表面無殘留膜為止；

S2、純水漂洗：將步驟S1處理后的工件撈出，放入流動的純水中浸泡沖洗30分鐘以上；

S3、采用硝氟酸進行中和反應，采用的硝氟酸采用硝酸和氫氟酸配比而成，配比時，各溶液的體積比為HNO₃：HF：H₂O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23）；

S4、擦洗：將工件在DI Water中采用無塵布進行擦洗；

S5、將工件在DI Water中常溫浸泡10分鐘以上；

S6、工件表面pH測試：對工件表面的殘留水進行pH值測試，如果其pH

值滿足6-7，則轉入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，則返回步驟S5，重新浸泡清洗；

S7、超聲波震蕩清洗：將部品放進帶有超音波的DI Water槽中，進行超聲波震蕩清洗30分鐘以上，采用有效功率為1.2Kw的超聲波進行超聲波震蕩清洗，超聲波震蕩清洗時要向超聲波清洗槽中持續通入去離子水，保持水槽中的水從水槽上面不斷溢流；

S8、工件表面pH測試：對工件表面的殘留水進行pH值測試，如果其pH值滿足6-7，則轉入下一工序，如果其pH值小于6或大于7，則返回步驟S7，重新浸泡清洗；

S9、CDA吹干：采用經過0.1μm過濾器過濾過的CDA對工件表面吹干；

S10、超聲波震蕩清洗：在無車車間內進行清洗，將部品放進帶有超音波的DI Water槽中，進行超聲波震蕩清洗5分鐘以上，采用有效功率為1.2Kw的超聲波進行超聲波震蕩清洗，超聲波震蕩清洗時要向超聲波清洗槽中持續通入去離子水，保持水槽中的水從水槽上面不斷溢流；

S11、加熱干燥：采用烘箱對產品進行烘烤加熱干燥，干燥溫度為150℃±10℃，干燥時間為1H以上；

S12、自然冷卻：將加熱干燥后的工件自然冷卻至室溫即可。

2.根據權利要求1所述的適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步驟S1中，H₂O₂：H₂O：NH₄OH=3：4：1。

3.根據權利要求1所述的適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步驟S2中，純水采用電阻率為12MΩ?cm以上的純水。

4.根據權利要求1所述的適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步驟S3中，硝氟酸為HNO₃：HF：H₂O=20：1：20，反應為在常溫溫度下進行浸泡反應，反應時間為10~30S。

5.根據權利要求1所述的適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步驟S5中，DI Water電阻率為5MΩ?cm以上，pH值：6-7。

6.根據權利要求1所述的適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步驟S9中，壓縮空氣的壓力為2kgf/cm²，干燥溫度為100±5℃，干燥時間為30分鐘以上。

7.根據權利要求1所述的適用于表面附著物為陶瓷部品的清洗方法，其特征是：所述的步驟S10中，無塵車間采用1000級無塵車間。