[發(fā)明專利]檢查系統(tǒng)和檢查用圖像的修正方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810943467.8
• 申請(qǐng)日: 2018-08-17
• 公開（公告）號(hào): CN109425327B
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉田順一郎;藁科文和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 發(fā)那科株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01C11/02
• 分類號(hào): G01C11/02;G01C11/04;G01B11/00
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;汪海屏

本發(fā)明提供一種檢查系統(tǒng)。該檢查系統(tǒng)包括：第一拍攝裝置(10)，其被設(shè)置于第一檢查裝置(1)；第二拍攝裝置(40)，其被設(shè)置于第二檢查裝置(2)；第一校正數(shù)據(jù)獲取單元，用于在第一拍攝裝置(10)拍攝的校準(zhǔn)夾具的圖像中獲取所述校準(zhǔn)夾具的預(yù)定特征，并將其存儲(chǔ)為第一特征數(shù)據(jù)，該校準(zhǔn)夾具被定位于第一檢查裝置(1)的預(yù)定位置處；第二校正數(shù)據(jù)獲取單元，用于在第二拍攝裝置(40)拍攝的校準(zhǔn)夾具的圖像中獲取所述校準(zhǔn)夾具的所述預(yù)定特征，并將其存儲(chǔ)為第二特征數(shù)據(jù)，該校準(zhǔn)夾具被定位于第二檢查裝置(2)，然后獲取用于修正第二拍攝裝置拍攝的圖像以使第二特征數(shù)據(jù)與第一特征數(shù)據(jù)一致的修正量，第二檢查裝置使用該修正量修正檢查對(duì)象物的圖像。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種檢查系統(tǒng)和檢查用圖像的修正方法。

背景技術(shù)

以往，已知一種通過拍攝裝置拍攝檢查對(duì)象物并對(duì)拍攝到的圖像進(jìn)行圖像處理后，使用處理后的圖像進(jìn)行檢查的檢查裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-181732號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問題

如上所述的檢查裝置例如用于檢查以高密度配置在電子設(shè)備的基板上的部件的位置和狀態(tài)，近年來，越來越需要以幾十μm為單位判斷部件的位置和狀態(tài)是否存在異常的檢查裝置。在這種情況下，由于拍攝裝置的透鏡的像差、檢查對(duì)象物的定位裝置與拍攝裝置之間的相對(duì)位置的輕微偏移，會(huì)導(dǎo)致無法精確地進(jìn)行上述的位置和狀態(tài)的檢查。

為了進(jìn)行精確的檢查，在上述檢查裝置中，對(duì)固定于定位裝置的校準(zhǔn)夾具進(jìn)行拍攝，基于拍攝到的圖像中的校準(zhǔn)夾具的多個(gè)特征點(diǎn)和這些特征點(diǎn)原本應(yīng)處于的位置之間的差而制作校正數(shù)據(jù)，并利用校正數(shù)據(jù)校正用于檢查的拍攝圖像。

另一方面，雖然可以利用檢查裝置預(yù)先拍攝并存儲(chǔ)檢查對(duì)象物的各種合格樣本圖像、不合格樣本圖像等以提高檢查對(duì)象物的位置和狀態(tài)的檢查精度，但存儲(chǔ)這樣的圖像需要大量的時(shí)間和樣品。

此外，在存在多條檢查線且每條檢查線都設(shè)置有上述檢查裝置的情況下，針對(duì)每個(gè)檢查裝置，透鏡的像差和檢查對(duì)象物的定位裝置與拍攝裝置之間的相對(duì)位置的偏移是不同的。因此，針對(duì)每個(gè)檢查裝置，上述的校正數(shù)據(jù)也變得不同，由于需要利用各個(gè)檢查裝置的校正數(shù)據(jù)校正樣本圖像，因而也需要按照各個(gè)檢查裝置準(zhǔn)備樣本圖像。

本發(fā)明正是鑒于這樣的情況而完成的，其目的在于提供一種能夠在多個(gè)檢查裝置中使用共通的樣本圖像的檢查系統(tǒng)和檢查用圖像的修正方法。

解決問題的手段

為了解決上述課題，本發(fā)明采用以下手段。

本發(fā)明的第一方面的檢查系統(tǒng)被構(gòu)成為，包括：第一拍攝裝置，其被設(shè)置于第一檢查裝置；第一圖像處理單元，用于對(duì)所述第一拍攝裝置拍攝的檢查對(duì)象物的圖像進(jìn)行圖像處理以用于檢查，所述檢查對(duì)象物被定位于所述第一檢查裝置的預(yù)定位置處；第二拍攝裝置，其被設(shè)置于第二檢查裝置；第二圖像處理單元，用于對(duì)所述第二拍攝裝置拍攝的檢查對(duì)象物的圖像進(jìn)行圖像處理以用于檢查，所述檢查對(duì)象物被定位于所述第二檢查裝置的預(yù)定位置處；第一校正數(shù)據(jù)獲取單元，用于在所述第一拍攝裝置拍攝的校準(zhǔn)夾具的圖像中獲取所述校準(zhǔn)夾具的預(yù)定特征，并將其存儲(chǔ)為第一特征數(shù)據(jù)，所述校準(zhǔn)夾具被定位于所述第一檢查裝置的所述預(yù)定位置處；第二校正數(shù)據(jù)獲取單元，用于在所述第二拍攝裝置拍攝的所述校準(zhǔn)夾具的圖像中獲取所述校準(zhǔn)夾具的所述預(yù)定特征，并將其存儲(chǔ)為第二特征數(shù)據(jù)，所述校準(zhǔn)夾具被定位于所述第二檢查裝置的所述預(yù)定位置處；以及圖像修正量獲取單元，用于修正所述第二拍攝裝置拍攝的所述校準(zhǔn)夾具的所述圖像，使得所述第二特征數(shù)據(jù)與所述第一特征數(shù)據(jù)一致，并獲取該修正量，其中，所述第二圖像處理單元被構(gòu)成為使用所述修正量修正所述檢查對(duì)象物的所述圖像。