[發明專利]檢查系統和檢查用圖像的修正方法

有效

• 申請號: 201810943467.8
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN109425327B
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發明（設計）人: 吉田順一郎;藁科文和
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: G01C11/02
• 分類號: G01C11/02;G01C11/04;G01B11/00
• 代理公司: 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;汪海屏

1.一種檢查系統，其特征在于，包括：

第一拍攝裝置，其被設置于第一檢查裝置；

第一圖像處理單元，用于對所述第一拍攝裝置拍攝的檢查對象物的圖像進行圖像處理以用于檢查，所述檢查對象物被定位于所述第一檢查裝置的預定位置處；

樣本圖像準備單元，用于獲取在多個所述檢查對象物的各種狀態下由所述第一拍攝裝置拍攝到的各種合格樣本圖像和/或不合格樣本圖像，即獲取光學系統的像差的影響未被修正的合格樣本圖像和/或不合格樣本圖像；

第二拍攝裝置，其被設置于第二檢查裝置；

第二圖像處理單元，用于對所述第二拍攝裝置拍攝的檢查對象物的圖像進行圖像處理以用于檢查，所述檢查對象物被定位于所述第二檢查裝置的預定位置處；

第一校正數據獲取單元，用于在所述第一拍攝裝置拍攝的校準夾具的圖像中獲取所述校準夾具的預定特征，并將其存儲為第一特征數據，所述校準夾具被定位于所述第一檢查裝置的所述預定位置處；

第二校正數據獲取單元，用于在所述第二拍攝裝置拍攝的所述校準夾具的圖像中獲取所述校準夾具的所述預定特征，并將其存儲為第二特征數據，所述校準夾具被定位于所述第二檢查裝置的所述預定位置處；以及

圖像修正量獲取單元，用于修正所述第二拍攝裝置拍攝的所述校準夾具的所述圖像，使得所述第二特征數據與所述第一特征數據一致，并獲取該修正量，

其中，所述第二檢查裝置被構成為，獲取所述第一檢查裝置的所述合格樣本圖像和/或所述不合格樣本圖像，

所述第二圖像處理單元被構成為，通過使用所述修正量修正所述檢查對象物的所述圖像，從而獲取與由所述第一檢查裝置的所述第一拍攝裝置拍攝到所述檢查對象物的情況相同的存在有像差的影響的圖像，

所述第二檢查裝置被構成為，使用從所述第一檢查裝置獲取的所述合格樣本圖像和/或所述不合格樣本圖像，檢查通過所述第二圖像處理單元進行了修正的所述圖像的所述檢查對象物。

2.根據權利要求1所述的檢查系統，其特征在于，

所述校準夾具具有多個特征點，

所述第一特征數據是所述第一拍攝裝置拍攝的所述校準夾具的所述圖像中的所述多個特征點的位置數據，所述第二特征數據是所述第二拍攝裝置拍攝的所述校準夾具的所述圖像中的所述多個特征點的位置數據。

3.根據權利要求1或2所述的檢查系統，其特征在于，

所述第一特征數據是表示所述第一拍攝裝置拍攝的所述校準夾具的所述圖像中的指定像素的亮度或色調的數據，所述第二特征數據是表示所述第二拍攝裝置拍攝的所述校準夾具的所述圖像中的指定像素的亮度或色調的數據。

4.一種檢查用圖像的修正方法，其特征在于，包括以下步驟：

第一校正數據獲取步驟，通過第一檢查裝置的第一拍攝裝置拍攝被定位于所述第一檢查裝置的預定位置處的校準夾具的圖像，獲取所拍攝的圖像中的所述校準夾具的預定特征并將其作為第一特征數據；

第二校正數據獲取步驟，通過第二檢查裝置的第二拍攝裝置拍攝被定位于所述第二檢查裝置的預定位置處的所述校準夾具的圖像，獲取所拍攝的圖像中的所述校準夾具的所述預定特征并將其作為第二特征數據；

樣本圖像準備步驟，在多個檢查對象物的各種狀態下，所述第一檢查裝置獲取由所述第一拍攝裝置拍攝到的各種合格樣本圖像和/或不合格樣本圖像，即獲取光學系統的像差的影響未被修正的合格樣本圖像和/或不合格樣本圖像；

樣本圖像獲取步驟，所述第二檢查裝置獲取所述第一檢查裝置的所述合格樣本圖像和/或所述不合格樣本圖像；

圖像修正量獲取步驟，修正所述第二拍攝裝置拍攝的所述校準夾具的所述圖像，使得所述第二特征數據與所述第一特征數據一致，并獲取該修正量；

檢查用圖像的修正步驟，所述第二檢查裝置使用所述修正量修正所述第二拍攝裝置拍攝的檢查對象物的圖像，其中，所述檢查對象物被定位于所述預定位置處；以及

檢查步驟，所述第二檢查裝置使用從所述第一檢查裝置獲取的所述合格樣本圖像和/或所述不合格樣本圖像，檢查通過所述檢查用圖像修正步驟進行了修正的所述圖像的檢查對象物。