[發明專利]一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置

有效

• 申請號: 201810941334.7
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN109205184B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 沈良霖
• 申請（專利權）人: 浙江雅市晶科技有限公司
• 主分類號: B65G21/12
• 分類號: B65G21/12
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385
• 代理人: 董芙蓉

本發明公開了一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置，包括第一支架，所述第一支架內部設有第一轉動軸，所述第一支架一側設有第二支架，所述第二支架內部設有第二轉動軸，所述第二支架一側設有凸出塊，所述凸出塊內部設有防撞裝置，所述第二支架底端設有支撐圓盤，所述支撐圓盤表面設有環形齒條，所述支撐圓盤底端設有支撐座，所述支撐座內部設有電動伸縮桿。本發明通過設有傳動輪，基板經第一轉動軸帶動到第二轉動軸頂端，基板往一側運動給壓力傳感器施加壓力，當壓力達到設定的范圍時，壓力傳感器將信號傳遞給單片機，單片機將停止信號傳遞給第二電機，第二電機停止工作，同時單片機傳遞伸長信號給電動伸縮桿。

技術領域

本發明涉及生產線運輸全自動化設備技術領域，特別涉及一種半導體基板生產線運輸用全自動設備。

背景技術

中興通訊事件可以看出中國半導體產業的致命點在設備進口，這對中國半導體產業挑戰與機遇并存，中國已發展成為全球最大的集成電路需求市場，全球半導體企業都極度依賴中國市場，高端裝備是發展半導體產業的基礎，目前國內半導體設備這一塊對美企業的依賴度還較高，每年都進口很多關鍵設備，目前國內半導體產業生產廠家在半導體基板運輸生產線上轉角處都是利用電機帶動支架旋轉，從而造成了資源浪費。

因此，發明一種半導體基板生產線運輸用全自動設備來解決上述問題很有必要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種半導體基板生產線運輸用全自動設備，通過利用齒輪傳動原理帶動第二支架旋轉完成轉角工序，有利于減少電機設備的使用，從而節約了資源，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種半導體基板生產線運輸用全自動設備，包括第一支架，所述第一支架內部設有第一轉動軸，所述第一支架一側設有第二支架，所述第二支架內部設有第二轉動軸，所述第二支架一側設有凸出塊，所述凸出塊內部設有防撞裝置，所述第二支架底端設有支撐圓盤，所述支撐圓盤表面設有環形齒條，所述支撐圓盤底端設有支撐座，所述支撐座內部設有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿輸出端一側設有條形齒條，所述條形齒條一側設有齒輪盤，所述齒輪盤與條形齒條相嚙合，所述齒輪盤一側設有旋轉軸，所述旋轉軸一端與齒輪盤相嚙合，所述旋轉軸另一端設有傳動輪，所述傳動輪表面設有弧形齒條，所述弧形齒條與環形齒條相嚙合，所述支撐座內部設有單片機。

優選的，所述防撞裝置包括殼體，所述殼體一側設有彈簧，所述彈簧一側設有活動板，所述活動板兩端與殼體滑動連接，所述活動板內部設有壓力傳感器。

優選的，所述旋轉軸一端與傳動輪一側固定連接。

優選的，所述第一轉動軸表面和第二轉動軸表面均設有橡膠圈，所述第一轉動軸和第二轉動軸的數量設置為多個。

優選的，所述第一支架底端設有第一電機，所述第二支架底端設有第二電機。

優選的，所述第一轉動軸頂端設有基板，所述第一支架底端和支撐座底端均設有萬向輪。

本發明的技術效果和優點：

1、通過設有傳動輪，基板經第一轉動軸帶動到第二轉動軸頂端，基板往一側運動給壓力傳感器施加壓力，當壓力達到設定的范圍時，壓力傳感器將信號傳遞給單片機，單片機將停止信號傳遞給第二電機，第二電機停止工作，同時單片機傳遞伸長信號給電動伸縮桿，電動伸縮桿伸長帶動條形齒條往上運動，條形齒條往上運動帶動齒輪盤轉動，齒輪盤轉動帶動旋轉軸轉動，由于傳動輪與旋轉軸固定連接的一端直徑小于另一端，從而可以在第二支架往上運動的同時，通過利用齒輪傳動原理帶動第二支架旋轉完成轉角工序，有利于減少電機設備的使用，從而節約了資源；

2、通過設有防撞裝置，基板推動活動板往一側運動，彈簧被壓縮，彈簧恢復形變產生的力與使基板運動的力進行緩沖，有利于避免基板因碰撞而損壞。

附圖說明

圖1為本發明的整體結構示意圖。