[發明專利]一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置有效
| 申請號： | 201810941334.7 | 申請日： | 2018-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN109205184B | 公開（公告）日： | 2020-07-14 |
| 發明（設計）人： | 沈良霖 | 申請（專利權）人： | 浙江雅市晶科技有限公司 |
| 主分類號： | B65G21/12 | 分類號： | B65G21/12 |
| 代理公司： | 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市長興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 生產線 運輸 轉角 裝置 | ||
1.一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置，包括第一支架(1)，其特征在于：所述第一支架(1)內部設有第一轉動軸(2)，所述第一支架(1)一側設有第二支架(3)，所述第二支架(3)內部設有第二轉動軸(4)，所述第二支架(3)一側設有凸出塊(5)，所述凸出塊(5)內部設有防撞裝置(6)，所述第二支架(3)底端設有支撐圓盤(7)，所述支撐圓盤(7)表面設有環形齒條(8)，所述支撐圓盤(7)底端設有支撐座(9)，所述支撐座(9)內部設有電動伸縮桿(10)，所述電動伸縮桿(10)輸出端一側設有條形齒條(11)，所述條形齒條(11)一側設有齒輪盤(12)，所述齒輪盤(12)與條形齒條(11)相嚙合，所述齒輪盤(12)一側設有旋轉軸(13)，所述旋轉軸(13)一端與齒輪盤(12)相嚙合，所述旋轉軸(13)另一端設有傳動輪(14)，傳動輪(14)與旋轉軸(13)固定連接的一端設置為直徑小于另一端，所述傳動輪(14)表面設有弧形齒條(15)，所述弧形齒條(15)與環形齒條(8)相嚙合，所述支撐座(9)內部設有單片機(16)。
2.根據權利要求1所述的一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置，其特征在于：所述防撞裝置(6)包括殼體(61)，所述殼體(61)一側設有彈簧(62)，所述彈簧(62)一側設有活動板(63)，所述活動板(63)兩端與殼體(61)滑動連接，所述活動板(63)內部設有壓力傳感器(64)。
3.根據權利要求1所述的一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置，其特征在于：所述旋轉軸(13)一端與傳動輪(14)一側固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置，其特征在于：所述第一轉動軸(2)表面和第二轉動軸(4)表面均設有橡膠圈，所述第一轉動軸(2)和第二轉動軸(4)的數量設置為多個。
5.根據權利要求1所述的一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置，其特征在于：所述第一支架(1)底端設有第一電機(17)，所述第二支架(3)底端設有第二電機(18)。
6.根據權利要求1所述的一種半導體基板生產線運輸用轉角裝置，其特征在于：所述第一轉動軸(2)頂端設有基板(19)，所述第一支架(1)底端和支撐座(9)底端均設有萬向輪(20)。
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