[發(fā)明專利]一種陰極輥化學(xué)拋光液及拋光方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810940388.1 | 申請日： | 2018-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN109023378B | 公開（公告）日： | 2020-10-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳智棟;吳敏嫻;王文昌;明小強(qiáng);王朋舉;魯衛(wèi)平 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州大學(xué);江蘇銘豐電子材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F3/06 | 分類號： | C23F3/06 |
| 代理公司： | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 謝新萍 |
| 地址： | 213164 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 陰極 化學(xué)拋光 拋光 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種陰極輥化學(xué)拋光液，其特征在于，所述拋光液由有機(jī)酸和表面活性劑組成，其中，所述有機(jī)酸分別是草酸和檸檬酸，表面活性劑是聚乙烯吡咯烷酮 K30；所述草酸在拋光液中的濃度為50-300g/L，檸檬酸在拋光液中的濃度為10-50g/L，聚乙烯吡咯烷酮 K30在拋光液中的濃度為0.01-0.5g/L；
采用所述的化學(xué)拋光液對用于制造電解銅箔的陰極輥的拋光方法為：將鈦陰極輥清洗去油后，放置在化學(xué)拋光液中，在20-60℃的條件下，旋轉(zhuǎn)滾筒浸泡10-20分鐘。
2.一種如權(quán)利要求l所述的化學(xué)拋光液的制備方法，其特征在于，所述制備方法是：將草酸緩慢溶解于去離子水中，在攪拌條件下緩慢加入檸檬酸的水溶液，然后再加入聚乙烯吡咯烷酮的水溶液，得到化學(xué)拋光液。
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