[發明專利]硅塊清洗方法和應用

有效

• 申請號: 201810937517.1
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN108946738B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 秦榕;曹文海;李永紅;張永輝;張永良;劉虎;孟海生;安生虎;劉生章;高鵬;危勝
• 申請（專利權）人: 青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司;青海黃河上游水電開發有限責任公司;國家電投集團黃河上游水電開發有限責任公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 吳開磊

1.一種硅塊清洗方法，其特征在于，包括依次進行的酸洗、漂洗、冷浸泡和熱浸泡；

其中，酸洗所用的酸液包括硝酸和氫氟酸，所述酸洗依次在硝酸比例梯度增加的三種酸液中進行；

第一次酸洗所用的酸液為硝酸：氫氟酸＝10-11:1v/v，第一次酸洗的溫度為32-35℃，第一次酸洗的時間為4-6min；

第二次酸洗用的酸液為硝酸：氫氟酸＝14-16v/v，第二次酸洗的溫度為35-38℃，第二次酸洗的時間為4-6min；

第三次酸洗用的酸液為硝酸：氫氟酸＝28-32v/v，第三次酸洗的溫度為30-33℃，第三次酸洗的時間為4-6min；

所述硝酸是質量分數為62-78％的硝酸水溶液；

所述氫氟酸是質量分數為45-55％的氫氟酸水溶液。

2.根據權利要求1所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述硝酸是質量分數為69-72％的硝酸水溶液。

3.根據權利要求2所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述氫氟酸是質量分數為48.8-49.2％的氫氟酸水溶液。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的硅塊清洗方法，其特征在于，第一次酸洗所用的酸液為硝酸：氫氟酸＝10:1v/v。

5.根據權利要求4所述的硅塊清洗方法，其特征在于，第二次酸洗用的酸液為硝酸：氫氟酸＝15:1v/v。

6.根據權利要求5所述的硅塊清洗方法，其特征在于，第二次酸洗的時間為5min。

7.根據權利要求4所述的硅塊清洗方法，其特征在于，第三次酸洗用的酸液為硝酸：氫氟酸＝30:1v/v。

8.根據權利要求4所述的硅塊清洗方法，其特征在于，第三次酸洗的時間為5min。

9.根據權利要求1所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述漂洗是利用超純水進行溢流漂洗。

10.根據權利要求9所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述漂洗的溫度為22-25℃。

11.根據權利要求9所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述漂洗的時間為4-6min。

12.根據權利要求11所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述漂洗的時間為5min。

13.根據權利要求1所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述冷浸泡的溫度為22-25℃；

和/或，所述冷浸泡的時間為3-5h。

14.根據權利要求1所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述冷浸泡的時間為4h。

15.根據權利要求1所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述熱浸泡的溫度為56-60℃；

和/或，所述熱浸泡的時間為2-3h。

16.根據權利要求15所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述熱浸泡的時間為2.5h。

17.根據權利要求15所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述熱浸泡為超聲熱浸泡。

18.根據權利要求17所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述超聲的頻率為20-25kHz。

19.根據權利要求18所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述超聲的頻率為23kHz。

20.根據權利要求1所述的硅塊清洗方法，其特征在于，所述熱浸泡后還進行了干燥。