[發明專利]一種走線結構及其制備方法、顯示裝置有效
| 申請號: | 201810928918.0 | 申請日: | 2018-08-15 |
| 公開(公告)號: | CN109087902B | 公開(公告)日: | 2021-01-26 |
| 發明(設計)人: | 李海旭;曹占鋒;王珂;汪建國 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/49 | 分類號: | H01L23/49;H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262 | 代理人: | 張京波;曲鵬 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 結構 及其 制備 方法 顯示裝置 | ||
1.一種走線結構,包括基體,其特征在于,還包括形成于所述基體上的預布置層,形成于所述基體和所述預布置層上的種子層,以及形成于所述種子層上的電極走線,所述電極走線覆蓋所述預布置層,所述預布置層的兩側與所述基體的夾角為15-60°,以使所述預布置層引導所述電極走線的形成。
2.根據權利要求1所述的走線結構,其特征在于,所述預布置層的寬度不大于所述電極走線的寬度。
3.根據權利要求1所述的走線結構,其特征在于,所述預布置層的橫截面為梯形。
4.根據權利要求1-3任一所述的走線結構,其特征在于,所述預布置層的材料為金屬材料、有機材料或無機材料。
5.根據權利要求1-3任一所述的走線結構,其特征在于,所述預布置層的厚度大于0.01um,并小于所述種子層厚度的1/2。
6.根據權利要求1-3任一所述的走線結構,其特征在于,所述電極走線為金屬電極走線。
7.一種顯示裝置,其特征在于,包括如權利要求1-6任一所述的走線結構。
8.一種走線結構的制備方法,其特征在于,包括:
確定在基體上形成電極走線的走線位置;
在基體的走線位置上形成預布置層,所述預布置層的兩側與所述基體的夾角為15-60°,以使所述預布置層引導所述電極走線的形成;
在基體和預布置層上形成種子層;
在走線位置外圍的種子層上涂覆膠膜;
采用電鍍工藝,在預布置層的引導下,在走線位置的種子層上形成電極走線,然后將膠膜去除。
9.根據權利要求8所述的走線結構的制備方法,其特征在于,采用電鍍工藝,在走線位置的種子層上形成電極走線的方法包括:
將基體放入含有鍍層離子的溶液內;
將基體上的種子層作為陰極,將含有鍍層離子的溶液作為陽極,通電,在走線位置的種子層上形成電極走線。
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