[發(fā)明專利]極小漏率真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810927607.2 | 申請日： | 2018-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN109186864B | 公開（公告）日： | 2020-05-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 任國華;孟冬輝;閆榮鑫;孫立臣;郭崇武;王莉娜;汪力;張海峰;孫立志 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所 |
| 主分類號： | G01M3/00 | 分類號： | G01M3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100094 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 極小 率真 標(biāo)準(zhǔn) 漏孔 | ||
1.極小漏率真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔，包括軸心為通孔結(jié)構(gòu)的氣體抽除裝置、壓力側(cè)支撐法蘭、真空側(cè)支撐、漏孔測試端接口和多余氣體抽除接口，氣體抽除裝置的通孔結(jié)構(gòu)外具有一中空空間且氣體抽除裝置的相對兩側(cè)分別設(shè)置有壓力側(cè)支撐法蘭和漏孔測試端接口，氣體抽除裝置的第三側(cè)側(cè)壁上設(shè)置與中空空間連通的多余氣體抽除接口以抽除多余的氣體，其中，漏孔測試端接口與通孔結(jié)構(gòu)連通，在漏孔測試端接口相對的氣體抽除裝置一側(cè)上設(shè)置真空側(cè)支撐，示漏氣體通過壓力側(cè)支撐法蘭中間的壓力側(cè)通孔加壓到滲透材料上，氣體抽除裝置靠近真空側(cè)支撐的圓周上設(shè)置若干抽氣小孔，抽氣小孔的一側(cè)與內(nèi)部的中空空間結(jié)構(gòu)連通，抽氣小孔的另一側(cè)支撐有滲透材料，雙道密封圈的內(nèi)側(cè)密封圈用于密封滲透材料，外側(cè)密封圈用于密封外界與抽氣小孔之間，確保中空空間內(nèi)處于真空狀態(tài)；壓力側(cè)支撐法蘭面對真空側(cè)支撐一側(cè)上加工有第三密封圈安裝槽，以固定用于密封的第三密封圈以起到密封示漏氣體不從滲透材料邊緣處泄漏, 所述滲透材料是指示漏氣體僅能以微小的流量通過的材料。
2.如權(quán)利要求1所述的極小漏率真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔，其中，第三密封圈和雙道密封圈具有一定的壓縮量。
3.如權(quán)利要求1所述的極小漏率真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔，其中，所述抽氣小孔均勻分布在圓周上，用于抽除從滲透材料邊緣泄漏出來的示漏氣體。
4.如權(quán)利要求1所述的極小漏率真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔，其中，所述抽氣小孔和中空空間相連，能夠?qū)﹄p道密封圈之間的空間抽真空。
5.如權(quán)利要求1所述的極小漏率真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔，其中，滲透材料為微孔材料, 微孔是人工加工的微孔。
6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的極小漏率真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔，其中，所述壓力側(cè)支撐法蘭為致密性材料制作，對氣體不具有滲透性。
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