[發(fā)明專利]一種紅外帶通濾波器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810921532.7 | 申請(qǐng)日： | 2018-08-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110824599B | 公開（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 穆正堂;蘇佑敬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 白金科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G02B5/20 | 分類號(hào)： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京國(guó)昊天誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315 | 代理人： | 許志勇;李有財(cái) |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)灣桃園市龜*** | 國(guó)省代碼： | 臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 紅外 帶通濾波器 | ||
1.一種紅外帶通濾波器，其具有第一多層膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一多層膜結(jié)構(gòu)包括：
多個(gè)Si:NH層，其在800nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的折射率大于3.5及其消光系數(shù)小于0.0002；以及
多個(gè)低折射率層，其與多個(gè)所述Si:NH層相互堆疊，其在800nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的折射率小於3；
其中所述Si:NH層的折射率與所述低折射率層的折射率的差值大于0.5；
其中所述紅外帶通濾波器具有與800nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍部份重疊的通帶，所述通帶的中心波長(zhǎng)位于800nm與1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)，所述通帶外具有在400nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)大于OD5的阻擋位凖。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，更包括基板，所述基板設(shè)置于所述第一多層膜結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，更包括第二多層膜結(jié)構(gòu)，所述第二多層膜結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述基板，并與所述第一多層膜結(jié)構(gòu)相對(duì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，所述第二多層膜結(jié)構(gòu)包括：
多個(gè)Si:NH層，其在800nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的折射率大于3.5及其消光系數(shù)小于0.0002；以及
多個(gè)低折射率層，其與多個(gè)所述Si:NH層相互堆疊，其在800nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的折射率小於3；
其中所述Si:NH層的折射率與所述低折射率層的折射率的差值大于0.5。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，所述通帶的中心波長(zhǎng)位于800nm與1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，在入射角從0度改變至30度時(shí)，所述通帶的中心波長(zhǎng)的偏移幅度小于12nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，所述Si:NH層的層數(shù)與所述低折射率層的層數(shù)的總和小于39層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，多個(gè)所述Si:NH層及多個(gè)所述低折射率層的總厚度小于4.5um。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，所述紅外帶通濾波器的硬度大于莫氏硬度7。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，所述低折射率層的材料選自SiO2、Al2O3、TiO2、Nb2O5、Ta2O5、SiOH及SiNOH中一者。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，所述低折射率層的材料為SiO2，所述低折射率層在800nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的折射率介于1.4與1.5之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，在入射角從0度改變至30度時(shí)，所述通帶的中心波長(zhǎng)的偏移幅度小于11.8nm。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，所述低折射率層的材料為SiNOH，所述低折射率層在800nm至1100nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的折射率介于1.5與2之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的紅外帶通濾波器，其特征在于，在入射角從0度改變至30度時(shí)，所述通帶的中心波長(zhǎng)的偏移幅度小于11.1nm。
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