[發(fā)明專利]一種利用聚焦離子束清理三維原子探針近局域電極的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810917874.1 | 申請(qǐng)日： | 2018-08-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109261646B | 公開（公告）日： | 2022-04-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 艾自紅;安志恒;沙剛;靳慎豹;胡蓉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南京理工大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B08B7/00 | 分類號(hào)： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京理工大學(xué)專利中心 32203 | 代理人： | 鄒偉紅 |
| 地址： | 210094 *** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 聚焦 離子束 清理 三維 原子 探針 局域 電極 方法 | ||
1.一種聚焦離子束的用途，其特征在于，用于清理三維原子探針近局域電極，具體方法為采用環(huán)狀的聚焦離子束清理三維原子探針近局域電極(7)中心的環(huán)周狀內(nèi)表面；將所述聚焦離子束的環(huán)切環(huán)的外環(huán)(4)與三維原子探針近局域電極(7)中心環(huán)上的突起缺陷(1)的根部對(duì)齊，環(huán)切環(huán)的內(nèi)環(huán)(3)與中心環(huán)上突起缺陷(1)的頂端邊緣對(duì)齊，從而將突起缺陷(1)清理掉；
所述方法包括如下步驟：
步驟S1：將三維原子探針近局域電極(7)裝到聚焦離子束樣品臺(tái)(6)上，傾轉(zhuǎn)樣品臺(tái)(6)，調(diào)整成像補(bǔ)償角度，調(diào)整工作距離；
步驟S2：在FIB成像模式下將環(huán)切環(huán)的中心與三維原子探針近局域電極(7)中心對(duì)齊；
步驟S3：將FIB的環(huán)切環(huán)的外環(huán)(4)與三維原子探針近局域電極(7)中心環(huán)上的突起缺陷(1)的根部對(duì)齊，環(huán)切環(huán)的內(nèi)環(huán)(3)與中心環(huán)上突起缺陷(1)的頂端邊緣對(duì)齊；
步驟S4：環(huán)切到在環(huán)切環(huán)的內(nèi)環(huán)(3)與外環(huán)(4)之間沒有雜質(zhì)為止；
所述步驟S1具體包括如下步驟：
S11：將三維原子探針近局域電極(7)固定到樣品臺(tái)(6)上；
S12：將緩沖倉(cāng)(12)中的氮?dú)夥诺簦⒋蜷_緩沖倉(cāng)倉(cāng)門(11)；
S13：將樣品臺(tái)(6)裝載到緩沖倉(cāng)(12)中的緩沖倉(cāng)樣品臺(tái)基座(13)上；
S14：關(guān)閉緩沖倉(cāng)倉(cāng)門(11)；
S15：轉(zhuǎn)移樣品臺(tái)(6)，將樣品臺(tái)(6)從緩沖倉(cāng)樣品臺(tái)基座(13)上推至工作倉(cāng)樣品臺(tái)基座(14)上；
S16：關(guān)閉工作倉(cāng)倉(cāng)門(10)；
S17：打開電子槍，打開電子槍后將樣品臺(tái)(6)調(diào)整到電子槍正下方；
S18：傾轉(zhuǎn)樣品臺(tái)(6)，樣品臺(tái)(6)傾轉(zhuǎn)的傾轉(zhuǎn)角度為54°，以使三維原子探針近局域電極(7)所在平面與離子槍成垂直狀態(tài)；
S19：調(diào)整工作距離，具體的調(diào)整工作距離到5.1mm，使得其處于離子槍的工作距離；
所述步驟S2具體包括如下步驟：
S21：打開離子槍；
S22：將SEM圖像模式下的視場(chǎng)和FIB圖像模式下的視場(chǎng)調(diào)整到一致；
S23：調(diào)整聚焦離子束，從而調(diào)出環(huán)切環(huán)；
所述步驟S3具體包括如下步驟：
S31：將FIB的環(huán)切環(huán)的外環(huán)(4)與三維原子探針近局域電極(7)中心環(huán)上的突起缺陷(1)的根部對(duì)齊；
S32：將FIB的環(huán)切環(huán)的內(nèi)環(huán)(3)與中心環(huán)上突起缺陷(1)的頂端邊緣對(duì)齊；
所述步驟S4具體包括如下步驟：
S41：開始環(huán)切；
S42：調(diào)節(jié)環(huán)切環(huán)位置，所述調(diào)節(jié)環(huán)切環(huán)位置是在一次環(huán)切暫停后進(jìn)行的，確保下次的環(huán)切位置正確；
S43：環(huán)切環(huán)的內(nèi)環(huán)(3)與外環(huán)(4)之間沒有雜質(zhì)時(shí)結(jié)束環(huán)切；
所述步驟S2的S22步驟具體包括如下步驟：
S221：將圖像切換到FIB模式前先將離子槍電流調(diào)整到2nA；
S222：選擇圖像參考點(diǎn)后將圖像切換到FIB模式；
S223：將圖像切換到FIB模式后將圖像調(diào)整清晰，所述將圖像調(diào)整清晰是通過調(diào)整放大、聚焦、像散、亮度、對(duì)比度來實(shí)現(xiàn)的；
S224：切換到FIB模式將圖像調(diào)整清晰后將FIB圖像和SEM圖像調(diào)整到相同位置。
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