[發明專利]一種釹鐵硼陶瓷表面金屬化磁控濺射鍍膜生產線

在審

• 申請號: 201810914508.0
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN108977783A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 朱選敏;郭愛云
• 申請（專利權）人: 武漢科瑞達真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368
• 代理人: 郭官厚

1.一種釹鐵硼陶瓷表面金屬化磁控濺射鍍膜生產線，包括翻轉模塊(1)、升降模塊(2)、進出片模塊(3)、真空鍍膜模塊(4)、出片升降模塊(5)；其特征在于：所述真空鍍膜模塊(4)由多個真空腔體(6)和多個腔體支架(7)組成，且所有的真空腔體(6)都安裝在腔體支架(7)上，所述真空腔體(6)內部設有內傳送系統(12)，所述真空腔體(6)上方配置有維護行車(14)，所述腔體支架(7)上安裝有基片回傳系統(13)，所述真空鍍膜模塊(4)分為進口真空段(41)、進口緩沖真空段(42)、進口過渡真空段(43)、鍍膜工藝真空段(44)、出口過渡真空段(45)、出口緩沖真空段(46)和出口真空段(47)七段，所述進口真空段(41)由真空腔體(6-1)和腔體支架(7-1)組成，所述真空腔體(6-1)進口處設有隔離閥(10-1)，所述真空腔體(6-1)頂板上設有腔體維修門(11)，所述腔體維修門(11)旁邊設有低真空前級抽氣系統(8)，所述低真空前級抽氣系統(8)通過的抽氣管道(18)連接到真空腔體(6-1)的底部，所述抽氣管道(18)上設置有真空閥門(17)，所述真空腔體(6-1)的側邊設計有過濾充氣裝置(19)，所述進口緩沖真空段(42)由真空腔體(6-2)和腔體支架(7-2)組成，所述真空腔體(6-2)與真空腔體(6-1)連接，且連接處設有隔離閥(10-2)，所述真空腔體(6-2)頂板上設有腔體維修門(11)，底板上安裝有高真空抽氣系統(91)，所述高真空抽氣系統(91)由不少于兩個分子泵(20)組成，所述分子泵(20)通過擋板閥(21)和管道(22)與高真空前級抽氣系統(92)連接，所述進口過渡真空段(43)由真空腔體(6-3)和腔體支架(7-3)組成，所述真空腔體(6-3)與真空腔體(6-2)連接，且連接處設有隔離閥(10-3)，所述真空腔體(6-3)頂板上設有腔體維修門(11)，底板上安裝有高真空抽氣系統(91)，所述高真空抽氣系統(91)由不少于兩個分子泵(20)組成，所述分子泵(20)通過擋板閥(21)和管道(22)與高真空前級抽氣系統(92)連接，所述鍍膜工藝真空段(44)由不少于一個獨立的工藝真空段組成，每個獨立的工藝真空段由真空腔體(6-4)和腔體支架(7-4)組成，所述真空腔體(6-4)底板上安裝有安裝有高真空抽氣系統(91)，所述高真空抽氣系統(91)由不少于兩個分子泵(20)組成，所述分子泵(20)通過擋板閥(21)和管道(22)與高真空前級抽氣系統(92)連接，所述出口過渡真空段(45)由真空腔體(6-5)和腔體支架(7-5)組成，所述真空腔體(6-5)與真空腔體(6-4)連接，且連接處設有隔離閥(10-4)，所述真空腔體(6-5)的頂板上設有腔體維修門(11)，底板上安裝有安裝有高真空抽氣系統(91)，所述高真空抽氣系統(91)由不少于兩個分子泵(20)組成，所述分子泵(20)通過擋板閥(21)和管道(22)與高真空前級抽氣系統(92)連接，所述出口緩沖真空段(46)由真空腔體(6-6)和腔體支架(7-6)組成，所述真空腔體(6-6)與真空腔體(6-5)連接，且連接處設有隔離閥(10-5)，所述真空腔體(6-6)的頂板上設有腔體維修門(11)，底板上安裝有安裝有高真空抽氣系統(91)，所述高真空抽氣系統(91)由不少于兩個分子泵(20)組成，所述分子泵(20)通過擋板閥(21)和管道(22)與高真空前級抽氣系統(92)連接，所述出口真空段(47)由真空腔體(6-5)和腔體支架(7-5)組成，所述真空腔體(6-5)口處設有隔離閥(10-6)，所述真空腔體(6-7)頂板上設有腔體維修門(11)，所述腔體維修門(11)旁邊設有低真空前級抽氣系統(8)，所述低真空前級抽氣系統(8)由機械泵(15)與羅茨泵(16)組成，所述低真空前級抽氣系統(8)通過的抽氣管道(18)連接到真空腔體(6-1)的底部，所述抽氣管道(18)上設置有真空閥門(17)，所述真空腔體(6-1)的側邊設計有過濾充氣裝置(19)。

2.根據權利要求1所述的一種釹鐵硼陶瓷表面金屬化磁控濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述進出片模塊(3)和真空鍍膜模塊(4)都設有上傳送系統(24)和下傳送系統(25)，所述基片托盤(23)在上傳送系統(24)和下傳送系統(25)傳輸。