[發明專利]薄膜晶體管及其制作方法、顯示面板的制作方法

有效

• 申請號: 201810907928.6
• 申請日: 2018-08-10
• 公開（公告）號: CN109103263B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 張偉;李民;徐苗;陶洪;鄒建華;王磊
• 申請（專利權）人: 廣州新視界光電科技有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L29/24;H01L21/34
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明實施例公開了一種薄膜晶體管及其制作方法、顯示面板的制作方法。該薄膜晶體管包括：襯底基板；形成在所述襯底基板上的柵極層、柵極絕緣層、有源層和源漏極層，所述有源層包括第一區域，所述第一區域為未被所述柵極層以及所述源漏極層覆蓋；形成在所述有源層背離所述襯底基板一側的鈍化層，且所述鈍化層與所述有源層的第一區域直接接觸；其中，所述有源層和所述鈍化層均摻雜有稀土元素。本發明提供的薄膜晶體管可以提高薄膜晶體管抗水氧能力。

技術領域

本發明實施例涉及半導體技術，尤其涉及一種薄膜晶體管及其制作方法、顯示面板的制作方法。

背景技術

隨著顯示技術的不斷發展，具有顯示面板的電子設備(如手機、電腦、電視以及可穿戴設備等)成為人們生活必不可少的一部分。

在現有的顯示面板中，薄膜晶體管是一個重要的器件，其主要用于配合其他器件如電容等實現顯示。在各類薄膜晶體管中，金屬氧化物薄膜晶體管由于具有較高的遷移率、較低的漏電流、制作過程的兼容性，在液晶顯示面板和有機發光顯示面板領域有較廣闊的應用前景。但是將由金屬氧化物制成的有源層暴露在空氣或水汽環境中其穩定性和可靠性極易劣化，嚴重地限制了其在商業上的使用。

發明內容

本發明提供一種薄膜晶體管及其制作方法、顯示面板的制作方法，以提高薄膜晶體管抗水氧能力。

第一方面，本發明實施例提供了一種薄膜晶體管，該薄膜晶體管包括：

襯底基板；

形成在所述襯底基板上的柵極層、柵極絕緣層、有源層和源漏極層，所述有源層包括第一區域，所述第一區域為未被所述柵極層以及所述源漏極層覆蓋；

形成在所述有源層背離所述襯底基板一側的鈍化層，且所述鈍化層與所述有源層的第一區域直接接觸；

其中，所述有源層和所述鈍化層均摻雜有稀土元素。

進一步地，所述有源層摻雜有釓、鎳、鋁、硅、鈧、釔、鈦、鋯、鉿、鈮、鉭、鉬、鎢、鑭、釹、鈰、鐠、钷、釤和銪中的至少一種。

進一步地，所述鈍化層摻雜有鈰、釤、釓、鉺和銩中的至少一種。

第二方面，本發明實施例提供了一種薄膜晶體管的制作方法，該薄膜晶體管的制作方法用于制作本發明實施例提供的任意一種所述的薄膜晶體管；

所述薄膜晶體管的制作方法包括：

提供襯底基板；

在所述襯底基板上形成柵極、柵極絕緣層、有源層和源漏極層，其中，所述有源層包括第一區域，所述第一區域為未被所述柵極層以及所述源漏極層覆蓋；且所述有源層摻雜有稀土元素；

利用溶液法在所述有源層背離所述襯底基板的一側形成鈍化層，所述鈍化層與所述有源層的所述第一區域直接接觸；且所述鈍化層摻雜有稀土元素。

進一步地，利用溶液法在所述有源層背離所述襯底基板的一側形成鈍化層，包括：

將包含摻雜元素的化合物加入到溶劑中，攪拌、靜止老化，過濾得到鈍化層原液；

利用旋涂的方法，將所述鈍化層原液涂布于鈍化層預設區域內，所述鈍化層原液至少覆蓋所述有源層的所述第一區域，以形成鈍化層；

在真空環境下，對所述鈍化層進行退火處理。

進一步地，執行所述利用旋涂的方法，將所述鈍化層原液涂布于鈍化層預設區域內，所述鈍化層原液至少覆蓋所述有源層的所述第一區域，以形成鈍化層的步驟的次數為至少兩次。

進一步地，所述在真空環境下，對所述鈍化層進行退火處理的同時，還包括：

利用深紫外線照射所述鈍化層。