[發(fā)明專利]一種SE電池的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810902147.8
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN109192811B
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳兢;杜歡;趙興國
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇輝倫太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0216
• 代理公司: 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種SE電池的制備方法，其特征是，包括以下步驟：

（1）表面處理：對硅片表面進(jìn)行處理，包括硅片表面清洗及制絨；

（2）設(shè)計選擇性區(qū)域：通過使用掩膜圖形涂覆或者激光處理的方法進(jìn)行選擇性區(qū)域的設(shè)計；

（3）制備低濃度擴散及高濃度擴散：通過擴散或離子注入方式進(jìn)行低濃度擴散及高濃度擴散的制備；

（4）清洗、蝕刻：對擴散產(chǎn)生的磷硅玻璃清洗，用化學(xué)試劑對硅片進(jìn)行刻蝕；

（5）鍍膜：通過在石墨舟中硅片上加蓋一層石墨板，對選擇性發(fā)射極中低濃度擴散區(qū)域進(jìn)行鍍膜，高濃度擴散區(qū)域不進(jìn)行此鍍膜；

（6）印刷：未鍍膜的高濃度擴散區(qū)域使用無鉛銀漿進(jìn)行印刷，銀漿與硅片直接接觸，低濃度擴散區(qū)域使用有鉛漿料進(jìn)行副柵線印刷；

（7）燒結(jié)：對硅片進(jìn)行燒結(jié)測試分檔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SE電池的制備方法，其特征是，所述石墨板的厚度為1-60 mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的SE電池的制備方法，其特征是，所述石墨板的圖案與高濃度擴散區(qū)域相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SE電池的制備方法，其特征是，所述鍍膜的厚度為80-100 nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SE電池的制備方法，其特征是，所述鍍膜的折射率為2.06-2.14。

6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的SE電池的制備方法，其特征是，所述高濃度擴散區(qū)域的擴散方阻為20-100 Ω，所述低濃度擴散區(qū)域的擴散方阻為50-150 Ω。