[發(fā)明專利]表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板及其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810891845.2
• 申請(qǐng)日: 2018-08-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110824844A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 翁沛喜;許銘案
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 許銘案;翁沛喜
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/09
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/09;G03F7/11
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 程殿軍

本發(fā)明涉及曲面基板制造技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板的制作方法，包含：形成一光阻層于一曲面基板上；以激光直寫(xiě)影像方式于該光阻層進(jìn)行曝光、固化，以形成至少一圖案；及對(duì)該光阻層進(jìn)行顯影，以去除未被曝光的該光阻層的部分而使該曲面基板形成具有該至少一圖案的該光阻層。本發(fā)明還提供一種使表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板，其是根據(jù)本發(fā)明的表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板的制作方法所制作。本發(fā)明提供的表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板及其制作方法，運(yùn)用激光直寫(xiě)影像技術(shù)(Laser Direct Imaging,LDI)與光阻制程，來(lái)解決過(guò)去運(yùn)用光阻制程需要光罩的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)無(wú)須光罩、制程簡(jiǎn)單、解析度高、低成本的特殊技術(shù)功效。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及曲面基板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板及其制造方法。

背景技術(shù)

目前，智慧型裝置如智慧型手機(jī)、智慧型手表、智慧型醫(yī)療器材等，都搭配有大屏幕讓使用者觀看屏幕上的資訊。這些具有大屏幕的裝置，除了功能強(qiáng)大外，逐漸都走向個(gè)性化、美觀的造型設(shè)計(jì)，包括外觀、形狀、色彩等。這些都必須透過(guò)令人激賞的外殼設(shè)計(jì)與制造來(lái)實(shí)現(xiàn)。而目前，曲面化的外殼造型，特別吸引人，也逐漸成為智慧型裝置的未來(lái)潮流。

目前，對(duì)于智慧型裝置的曲面化外殼的圖案制作，有以下幾種工法：第一種工法：轉(zhuǎn)印技術(shù)。透過(guò)預(yù)先制作的平面圖樣，再轉(zhuǎn)印到目標(biāo)的曲面。此種工法的加工成本低，但加工速度慢、材料成本高，且線路解析度差。第二種工法：噴墨+激光雕刻。通過(guò)噴墨方法將顏料噴至目標(biāo)的曲面，再通過(guò)激光雕刻的方式將圖案刻出。此種工法加工成本高且加工速度慢，設(shè)備成本也很高，材料成本也高，優(yōu)點(diǎn)是，線路解析度高，可達(dá)20um(微米)。第三種工法：如中國(guó)專利CN205318085U運(yùn)用了曲面型光罩來(lái)進(jìn)行曝光、顯影制程，以實(shí)現(xiàn)曲面化外殼的圖案制作，其具有材料成本低、線路解析度高、制程簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)；其缺點(diǎn)為，仍須使用曲面光罩。

因此，如何能開(kāi)發(fā)出同時(shí)具備加工成本低、加工速度快、材料成本低、線路解析度高的多重優(yōu)點(diǎn)，并且，可曲面外殼上制作出彩色圖案之技術(shù)，成為智慧型裝置廠商所希求的發(fā)展方向。

發(fā)明內(nèi)容

為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供了一個(gè)表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板及其制作方法，運(yùn)用激光直寫(xiě)影像技術(shù)(Laser Direct Imaging, LDI)與光阻制程，來(lái)解決過(guò)去運(yùn)用光阻制程需要光罩的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)無(wú)須光罩、制程簡(jiǎn)單、解析度高、低成本的特殊技術(shù)功效。

本發(fā)明提供一種表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板的制作方法，包含：形成一光阻層于一曲面基板上；以激光直寫(xiě)影像方式于該光阻層進(jìn)行曝光、固化，以形成至少一圖案；及對(duì)該光阻層進(jìn)行顯影，以去除未被曝光的該光阻層的部分而使該曲面基板形成具有該至少一圖案的該光阻層。

一種表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板，其特征在于：一曲面基板，該曲面基板的表面具有一凸紋結(jié)構(gòu)薄膜，且該凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的圖案的解析度介于0.1-100微米(um)之間。

為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉數(shù)個(gè)較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下（實(shí)施方式）。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板的制作方法流程圖的一實(shí)施例。

圖2A-2J，為本發(fā)明的表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板的制作方法中，制作于曲面基板的內(nèi)表面的各個(gè)流程的曲面基板的剖面(沿A-A剖面線)及上視圖。

圖3A-3J，為本發(fā)明的表面具凸紋結(jié)構(gòu)薄膜的曲面基板的制作方法中，制作于曲面基板的外表面的各個(gè)流程的曲面基板的剖面(沿A-A剖面線)及上視圖。

符號(hào)說(shuō)明：

10曲面基板，20光阻層，20-1未曝光部分，20-2曝光固化部分，21溝槽，