[發明專利]表面具凸紋結構薄膜的曲面基板及其制造方法

在審

• 申請號: 201810891845.2
• 申請日: 2018-08-07
• 公開（公告）號: CN110824844A
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 翁沛喜;許銘案
• 申請（專利權）人: 許銘案;翁沛喜
• 主分類號: G03F7/09
• 分類號: G03F7/09;G03F7/11
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 程殿軍

本發明涉及曲面基板制造技術領域，具體公開了一種表面具凸紋結構薄膜的曲面基板的制作方法，包含：形成一光阻層于一曲面基板上；以激光直寫影像方式于該光阻層進行曝光、固化，以形成至少一圖案；及對該光阻層進行顯影，以去除未被曝光的該光阻層的部分而使該曲面基板形成具有該至少一圖案的該光阻層。本發明還提供一種使表面具凸紋結構薄膜的曲面基板，其是根據本發明的表面具凸紋結構薄膜的曲面基板的制作方法所制作。本發明提供的表面具凸紋結構薄膜的曲面基板及其制作方法，運用激光直寫影像技術(Laser Direct Imaging,LDI)與光阻制程，來解決過去運用光阻制程需要光罩的問題，實現無須光罩、制程簡單、解析度高、低成本的特殊技術功效。

技術領域

本發明涉及曲面基板制造技術領域，特別涉及表面具凸紋結構薄膜的曲面基板及其制造方法。

背景技術

目前，智慧型裝置如智慧型手機、智慧型手表、智慧型醫療器材等，都搭配有大屏幕讓使用者觀看屏幕上的資訊。這些具有大屏幕的裝置，除了功能強大外，逐漸都走向個性化、美觀的造型設計，包括外觀、形狀、色彩等。這些都必須透過令人激賞的外殼設計與制造來實現。而目前，曲面化的外殼造型，特別吸引人，也逐漸成為智慧型裝置的未來潮流。

目前，對于智慧型裝置的曲面化外殼的圖案制作，有以下幾種工法：第一種工法：轉印技術。透過預先制作的平面圖樣，再轉印到目標的曲面。此種工法的加工成本低，但加工速度慢、材料成本高，且線路解析度差。第二種工法：噴墨+激光雕刻。通過噴墨方法將顏料噴至目標的曲面，再通過激光雕刻的方式將圖案刻出。此種工法加工成本高且加工速度慢，設備成本也很高，材料成本也高，優點是，線路解析度高，可達20um(微米)。第三種工法：如中國專利CN205318085U運用了曲面型光罩來進行曝光、顯影制程，以實現曲面化外殼的圖案制作，其具有材料成本低、線路解析度高、制程簡單的優點；其缺點為，仍須使用曲面光罩。

因此，如何能開發出同時具備加工成本低、加工速度快、材料成本低、線路解析度高的多重優點，并且，可曲面外殼上制作出彩色圖案之技術，成為智慧型裝置廠商所希求的發展方向。

發明內容

為達上述目的，本發明提供了一個表面具凸紋結構薄膜的曲面基板及其制作方法，運用激光直寫影像技術(Laser Direct Imaging, LDI)與光阻制程，來解決過去運用光阻制程需要光罩的問題，實現無須光罩、制程簡單、解析度高、低成本的特殊技術功效。

本發明提供一種表面具凸紋結構薄膜的曲面基板的制作方法，包含：形成一光阻層于一曲面基板上；以激光直寫影像方式于該光阻層進行曝光、固化，以形成至少一圖案；及對該光阻層進行顯影，以去除未被曝光的該光阻層的部分而使該曲面基板形成具有該至少一圖案的該光阻層。

一種表面具凸紋結構薄膜的曲面基板，其特征在于：一曲面基板，該曲面基板的表面具有一凸紋結構薄膜，且該凸紋結構薄膜的圖案的解析度介于0.1-100微米(um)之間。

為讓本發明的上述和其他目的、特征、和優點能更明顯易懂，下文特舉數個較佳實施例，并配合附圖，作詳細說明如下（實施方式）。

附圖說明

圖1為本發明的表面具凸紋結構薄膜的曲面基板的制作方法流程圖的一實施例。

圖2A-2J，為本發明的表面具凸紋結構薄膜的曲面基板的制作方法中，制作于曲面基板的內表面的各個流程的曲面基板的剖面(沿A-A剖面線)及上視圖。

圖3A-3J，為本發明的表面具凸紋結構薄膜的曲面基板的制作方法中，制作于曲面基板的外表面的各個流程的曲面基板的剖面(沿A-A剖面線)及上視圖。

符號說明：

10曲面基板，20光阻層，20-1未曝光部分，20-2曝光固化部分，21溝槽，