[發(fā)明專利]一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810874894.5
• 申請日: 2018-08-01
• 公開（公告）號: CN109037358A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蘇榮;王嵐;張元秋;謝耀輝;王濤
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/513
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 楊保剛;鄧蕓

本發(fā)明公開了一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，涉及晶硅太陽能電池制造領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有PECVD鍍膜工藝不能夠不降低電池片電性能的同時提高產(chǎn)能的問題。一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，通過背面漸進(jìn)式鍍膜工藝來提高雙面PERC電池背面減反射效果，最終提高PERC電池雙面率，從改善微波功率限制、特氣流量限制、設(shè)備參數(shù)限制等入手，從而達(dá)到提升產(chǎn)能的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于晶硅太陽能電池制造領(lǐng)域，更具體的是涉及一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法。

背景技術(shù)

目前，高效晶硅電池是太陽能電池的主流發(fā)展趨勢，性價比占優(yōu)的PERC(鈍化發(fā)射極背面接觸電池)將大量占據(jù)市場，已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)太陽能電池片技術(shù)。PERC電池需要背面鈍化及背面鍍膜工藝，可見鍍膜工序是PERC電池片生產(chǎn)環(huán)節(jié)中最重要的一環(huán)，鍍膜的質(zhì)量直接影響到電池片的電性能。目前可以進(jìn)行背鈍化的比較先進(jìn)的設(shè)備包括微導(dǎo)的ALD(原子層沉積)設(shè)備和梅耶博格的MAiA設(shè)備。梅耶博格的MAiA設(shè)備有多個工藝腔聯(lián)結(jié)，可以完成背面氧化鋁鍍膜和氮化硅鍍膜，甚至MAiA的3in 1設(shè)備可以一次性完成背面氧化鋁、氮化硅和正面氮化硅的鍍膜。MAiA的優(yōu)點(diǎn)是鍍膜均勻性好，一次性完成背面氧化鋁和氮化硅鍍膜的情況下可以減少環(huán)境污染，操作簡單，缺點(diǎn)是產(chǎn)能比ALD設(shè)備略低，所以鍍膜工序往往是晶硅太陽能電池片的產(chǎn)能瓶頸，釋放鍍膜工序的產(chǎn)能一直是晶硅電池企業(yè)所關(guān)心的問題。目前MAiA設(shè)備鍍PERC電池背面氧化鋁的鈍化效果比ALD差，導(dǎo)致MAiA設(shè)備鍍背面氧化鋁膜的膜厚必須在20nm以上，而ALD設(shè)備鍍氧化鋁膜膜厚5～10nm就可以達(dá)到相同效果，MAiA采用尖端放電激發(fā)的氬氣等離子體再激發(fā)三甲基鋁，激發(fā)后的氬氣和三甲基鋁混合氣體再與笑氣反應(yīng)，混合氣體在石英管傳導(dǎo)微波能量中電離，產(chǎn)生的等離子體在晶硅背表面形成鍍膜層。這種鍍膜方法中，微波功率的限制及特氣總流量的限制就是限制MAiA等板式PECVD設(shè)備生產(chǎn)產(chǎn)能的主要原因，而廠商安裝并調(diào)試MAiA鍍膜設(shè)備后，起初提供的量產(chǎn)工藝菜單往往比較保守，考慮到設(shè)備的“磨合期”，并沒有將特氣電離度及等離子體沉積速率最佳程度匹配起來。尚德太陽能電力有限公司申請的專利(201711336123.2)，提供了一種提升管式PECVD工藝產(chǎn)能的方法，主要是從鍍膜后輔助流程上實現(xiàn)工藝運(yùn)行時間縮短，而且僅限于管式PECVD設(shè)備；蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司申請的專利(201621098512.7)，通過改變鍍膜沉積槽磁場運(yùn)行方向從而達(dá)到提高等離子體利用率，此種方法在MAiA上鍍膜(石英管在鍍膜電池片上方)設(shè)備上并無改進(jìn)空間，改變磁場方向后的氬等離子體束斑的方向?qū)⒏淖儭?/p>

目前為了保證雙面PERC電池背面鍍膜顯示藍(lán)色，大多數(shù)廠家采用低光程鍍膜，并在低光程鍍膜的同時采用低膜厚、高折射率鍍膜工藝或者漸進(jìn)式鍍膜工藝。采用低光程鍍膜工藝的時候，鍍膜層鈍化效果將是決定PERC電池電性能的重要一環(huán)，提高板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的同時不降低鍍膜層鈍化效果，將是目前晶硅PERC電池廠家要解決的技術(shù)難題。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述技術(shù)不足，本發(fā)明提供一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，解決了現(xiàn)有PECVD鍍膜工藝不能夠不降低電池片電性能的同時提高產(chǎn)能的問題。

本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，具體采用以下技術(shù)方案：

一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，通過采用背面漸進(jìn)式鍍膜工藝結(jié)合對原有工藝參數(shù)的改進(jìn)調(diào)整，實現(xiàn)提高PERC電池雙面率和提升產(chǎn)能的目的，方法步驟均為在原有工藝上進(jìn)行改進(jìn)和調(diào)整，包括以下步驟：

(1)、增大電子特氣總流量：在原有工藝條件下，按比例增大氬氣、笑氣、三甲基鋁、氨氣、硅烷的總流量。