[發(fā)明專利]一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201810874894.5
• 申請日: 2018-08-01
• 公開（公告）號: CN109037358A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蘇榮;王嵐;張元秋;謝耀輝;王濤
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/513
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 楊保剛;鄧蕓

1.一種提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，所述的方法通過采用背面漸進(jìn)式鍍膜工藝結(jié)合對原有工藝參數(shù)的改進(jìn)調(diào)整，實現(xiàn)提高PERC電池雙面率和提升產(chǎn)能的目的，其特征在于，所述的方法步驟均為在原有工藝上進(jìn)行改進(jìn)和調(diào)整，包括以下步驟：

(1)、增大電子特氣總流量：在原有工藝條件下，按比例增大氬氣、笑氣、三甲基鋁、氨氣、硅烷的總流量。

(2)、增大微波功率：增大微波功率有兩種方法，一是增大微波峰值功率，峰值功率報警上限為4400W，但微波波動較大，在3800W時就有可能波動到4400W產(chǎn)生設(shè)備報警，可將現(xiàn)有的微波功率提升到3400～3800W；二是增加微波開啟時間或縮短微波關(guān)閉時間，將微波開啟時間由原來的3～6ms增加到8ms，或者將微波關(guān)閉時間有原來的14～18ms減小為8～12ms，以達(dá)到增大平均功率的目的。

(3)、減少進(jìn)料腔預(yù)熱時間：優(yōu)化真空度，和預(yù)熱溫度，減少載板在進(jìn)料腔的預(yù)熱時間，使載板可以盡早的進(jìn)入工藝腔進(jìn)行鍍膜。

(4)、提高各腔室傳送帶帶速：此過程可以提高碳纖維載板在各腔室的移動速度，帶速可提升10～30cm/min，從而提升鍍膜工序產(chǎn)能。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，其特征在于，所述的漸進(jìn)式鍍膜工藝是指，將背面鍍膜工藝腔的兩組石英管對應(yīng)的噴淋系統(tǒng)設(shè)計成不同的流量或者改變特氣管道噴淋孔的數(shù)量，且將氧化鋁和氮化硅鍍膜離進(jìn)料口近的石英管鍍膜采用高折射率工藝。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，其特征在于，所述的漸進(jìn)式鍍膜工藝中的氧化鋁膜漸進(jìn)式鍍膜工藝的具體參數(shù)為：保證笑氣流量計MFC1的流量低于笑氣流量計MFC2的流量，MFC1流量計的笑氣流量設(shè)置為500～700sccm，MFC2流量計的笑氣流量設(shè)置為700～1000sccm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，其特征在于,所述的漸進(jìn)式鍍膜工藝中的氮化硅膜漸進(jìn)式鍍膜工藝的具體參數(shù)為：氨氣流量計MFC1到MFC5的流量設(shè)置為500～1400sccm；氨氣流量計MFC6的流量設(shè)置為0～300sccm；氨氣流量計MFC7的流量設(shè)置為100～800sccm；氨氣流量計MFC8的流量設(shè)置為50～300sccm；硅烷流量計MFC1到MFC5的流量設(shè)置為150～600sccm；硅烷流量計MFC6的流量設(shè)置為0～200sccm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，其特征在于，步驟(1)增大電子特氣總流量的工藝方案已經(jīng)在漸進(jìn)式鍍膜工藝方案中實現(xiàn)，在后續(xù)步驟中可以繼續(xù)實施和調(diào)整。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，其特征在于，步驟(2)增大微波功率可替換為改變微波源或改善微波導(dǎo)管的質(zhì)量。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升雙面PERC電池板式PECVD鍍膜產(chǎn)能的方法，其特征在于，所述的原有工藝參數(shù)是指是設(shè)備進(jìn)廠后，供應(yīng)商廠家所對應(yīng)設(shè)置的原始工藝參數(shù)。