[發明專利]光路調試方法

在審

• 申請號: 201810874164.5
• 申請日: 2018-08-03
• 公開（公告）號: CN109030360A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 王少勇;顧建峰;董殿永
• 申請（專利權）人: 蘇州博維儀器科技有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/73
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了光路調試方法，包括光譜儀本體和調試步驟，所述光譜儀本體內腔的左側固定連接有光柵，所述光柵內腔右側的頂部固定連接有聚焦鏡，所述光譜儀本體內腔右側的底部固定連接有準直鏡，所述聚焦鏡和準直鏡鏡面與光柵相對，所述光譜儀本體左側的底部設置有入射夾縫，所述入射夾縫的左側設置有鏡筒，所述光譜儀本體左側的頂部設置有出射夾縫。本發明通過現光譜儀本體、光柵、聚焦鏡、準直鏡、入射夾縫、鏡筒、出射夾縫、探測器、石英透鏡、準直鏡光斑中心和基準線的配合使用，能夠方便地把Czerny?Turner型光路單色器的光路和色帶調平，有效地將入射狹縫精確地成像在出射狹縫處，并且像質很好，保證單色器具有良好的分辨能力。

技術領域

本發明涉及光譜儀技術領域，具體為光路調試方法。

背景技術

單道掃描型ICP光譜儀分光系統主要由聚焦透鏡、焦距為1m的單色器和光電探測器構成等離子體火焰激發物質的光譜信息通過聚焦透鏡聚焦后進入單色器，在單色器中分光最后由光電探測器接收其中單色器主要由入射狹縫、準直鏡(球面反射鏡)、光柵(反射式)、聚焦鏡(球面反射鏡)和出射狹縫組成，本文公開的調試方法是先采用較強鎢燈作為光源，以入射狹縫和出射狹縫中心連線及準直鏡和聚焦鏡中心連線決定的平面作為基準面來調平光路和色帶，再以較弱光低壓筆形汞燈作為光源，通過顯微鏡觀察入射狹縫(細縫)在出射狹縫處的成像情況來調焦和調狹縫以固定出射狹縫。

單道掃描型ICP光譜儀是通過ICP光源激發出試樣中各種待測元素的特征譜線，這些特征譜線混在一起構成的復合光通過分光系統分成許多不同波長的光，通過測試這些不同波長特征譜線的強度來確定物質的成分及含量單色器是光譜儀的核心部件，它的色散能力和分辨能力直接影響測試的準確性，單色器的調試方法是影響其分辨能力的關鍵因素之一，有效的調試方法對生產效率和儀器的性能具有舉足輕重的作用，目前尚未見到有關單色器的調試方法報道。

光譜儀單色器的色散能力和分辨能力的好壞，直接影響著光譜儀的分辨能力，但是目前尚未見到有關光譜儀單色器的調試方法，所以這也就使得光譜儀分辨能力無法有效的調節，進而直接影響著光譜儀的像質，降低了光譜儀的分辨能力。

本發明內容

本發明的目的在于提供光路調試方法，具備簡單有效的優點，解決了光譜儀分辨能力無法有效的調節，進而直接影響著光譜儀的像質，降低了光譜儀的分辨能力的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種光路調試方法，包括光譜儀本體和調試步驟，所述光譜儀本體內腔的左側固定連接有光柵，所述光柵內腔右側的頂部固定連接有聚焦鏡，所述光譜儀本體內腔右側的底部固定連接有準直鏡，所述聚焦鏡和準直鏡鏡面與光柵相對，所述光譜儀本體左側的底部設置有入射夾縫，所述入射夾縫的左側設置有鏡筒，所述光譜儀本體左側的頂部設置有出射夾縫，所述出射夾縫的左側設置有探測器，所述探測器的底部與光譜儀本體固定連接。

所述光譜儀本體包括石英透鏡，所述石英透鏡與準直鏡相對，所述光柵和鏡筒之間設置有準直鏡光斑中心，所述光柵、準直鏡光斑中心和鏡筒的中心處設置有基準線。

調試步驟如下：

步驟一：布置基準線：

以兩夾縫中心連線作為基準線；

步驟二：調平準直鏡；

在入射狹縫處放置粗狹縫，鎢燈光線經過鏡筒照亮粗入射狹縫后照滿準直鏡，調整準直鏡，將其所成光斑中心與基準線重合；

步驟三：調平光柵：

裝上光柵，轉動光柵，光線經光柵反射重新照在準直鏡上，聚焦在入射夾縫附近，通過調整光柵使光柵零級光斑中心與基準線重合；

步驟四：調平聚焦：

轉動光柵，光線經光柵反射打在聚焦鏡上后成像在出射夾縫附近，通過調整聚焦鏡使其所成光斑中心與基準線重合；