[發(fā)明專利]基于OCR圖像處理技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810868613.5
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN109002021A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張志勝;王睿;馬繼山;戴敏
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學(xué);江蘇南高智能裝備創(chuàng)新中心有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張婧

本發(fā)明公開了一種基于OCR圖像處理技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，包括用于控制機(jī)臺設(shè)備生產(chǎn)的客戶端系統(tǒng)、用于用戶管理和操作的中央控制服務(wù)器，所述客戶端系統(tǒng)包括OCR圖像處理模塊、遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊、配方配置模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、報警管理模塊和日志處理模塊，該客戶端系統(tǒng)通過USB接口與機(jī)臺設(shè)備相交互，讀取機(jī)臺設(shè)備參數(shù)并發(fā)送指令控制機(jī)臺設(shè)備動作；所述中央控制服務(wù)器通過基于TCP/IP協(xié)議的Socket編程接口與客戶端系統(tǒng)相連接控制客戶端系統(tǒng)的操作。本發(fā)明解決半導(dǎo)體企業(yè)中不支持SECS/GEM通訊接口的機(jī)臺設(shè)備實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控自動化生產(chǎn)問題，有利于提高了半導(dǎo)體封裝的全自動化生產(chǎn)水平，降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，尤其涉及一種基于OCR圖像處理技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著計算機(jī)集成制造系統(tǒng)(CIMS)的不斷向前發(fā)展，越來越多的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商將目光轉(zhuǎn)移到自動化生產(chǎn)的方向，力求通過自動化生產(chǎn)的方式來解決半導(dǎo)體制造成本越來越高、制造工藝技術(shù)越來越復(fù)雜的問題。

目前，半導(dǎo)體企業(yè)的大多數(shù)設(shè)備支持SECS/GEM通訊接口，仍然采用基SECS/GEM通信協(xié)議的自動化生產(chǎn)解決方案，因為SECS/GEM通信協(xié)議統(tǒng)一了各個生產(chǎn)設(shè)備之間以及生產(chǎn)設(shè)備和控制設(shè)備之間的通信規(guī)范，是目前應(yīng)用最廣泛的半導(dǎo)體通信協(xié)議，然而，在很多半導(dǎo)體封裝測試企業(yè)中仍然擁有大量并不支持SECS/GEM通訊接口的機(jī)臺設(shè)備，造成了企業(yè)自動化生產(chǎn)水平的降低和生產(chǎn)成本的大幅提高。

因此，亟待解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明目的：本發(fā)明的目的是提供一種可解決目前半導(dǎo)體企業(yè)中不支持SECS/GEM通訊接口的機(jī)臺設(shè)備實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控自動化生產(chǎn)的基于OCR圖像處理技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。

技術(shù)方案：為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明公開了一種基于OCR圖像處理技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，包括用于控制機(jī)臺設(shè)備生產(chǎn)的客戶端系統(tǒng)、用于用戶管理和操作的中央控制服務(wù)器，所述客戶端系統(tǒng)包括OCR圖像處理模塊、遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊、配方配置模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、報警管理模塊和日志處理模塊，該客戶端系統(tǒng)通過USB接口與機(jī)臺設(shè)備相交互，讀取機(jī)臺設(shè)備參數(shù)并發(fā)送指令控制機(jī)臺設(shè)備動作；所述中央控制服務(wù)器通過基于TCP/IP協(xié)議的Socket編程接口與客戶端系統(tǒng)相連接控制客戶端系統(tǒng)的操作。

其中，所述OCR圖像處理模塊用于識別處理機(jī)臺設(shè)備屏幕信息，包括圖像預(yù)處理、字符切分、特征提取識別和建立字符數(shù)據(jù)庫；該OCR圖像處理模塊是基于OCR圖像識別技術(shù)對機(jī)臺設(shè)備屏幕讀取生產(chǎn)過程參數(shù)，首先通過學(xué)習(xí)的過程為生產(chǎn)過程參數(shù)建立對應(yīng)的字符特征庫并構(gòu)造分類器，然后對所識別的圖像進(jìn)行二值化處理得到只有前景色與背景色的二值圖像，然后對二值圖像進(jìn)行行、列字符切分獲得單個字符，最后對單個字符進(jìn)行特征提取，將提取到的特征與字符特征庫進(jìn)行匹配，匹配成功則識別出字符。

優(yōu)選的，所述的遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊用于實時監(jiān)視和控制半導(dǎo)體生產(chǎn)過程，包括運(yùn)程監(jiān)視設(shè)備狀態(tài)和遠(yuǎn)程控制機(jī)臺設(shè)備生產(chǎn)；其中，數(shù)據(jù)采集模塊實時收集機(jī)臺設(shè)備生產(chǎn)過程中的數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)傳輸至遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊進(jìn)行統(tǒng)計分析，若監(jiān)測到生產(chǎn)異常，則啟動報警管理模塊，對生產(chǎn)過程進(jìn)行控制。

再者，所述的配方管理模塊用于管理機(jī)臺設(shè)備的配方，其中包括配方上傳審批、配方下載使用和配方參數(shù)校驗，配方上傳審批是將機(jī)臺設(shè)備上新創(chuàng)建的配方程序上傳至中央控制服務(wù)器，并由生產(chǎn)工藝工程師完成配方參數(shù)的調(diào)優(yōu)修改以及配方程序的審批升級，經(jīng)過升級后的配方程序可下載到機(jī)臺設(shè)備中進(jìn)行生產(chǎn)使用，配方參數(shù)校驗發(fā)生在機(jī)臺設(shè)備正式開機(jī)生產(chǎn)之前，通過數(shù)據(jù)采集模塊讀取當(dāng)前設(shè)備生產(chǎn)參數(shù)，并與升級后的配方參數(shù)進(jìn)行比對，若比對通過，則允許機(jī)臺設(shè)備開機(jī)生產(chǎn)，若比對不通過，則需要向客戶端發(fā)送停機(jī)指令，阻止機(jī)臺設(shè)備繼續(xù)生產(chǎn)。

進(jìn)一步，所述數(shù)據(jù)采集模塊用于采集經(jīng)過OCR圖像處理模塊識別處理后所得到的機(jī)臺設(shè)備參數(shù)，包括生產(chǎn)數(shù)據(jù)和實時數(shù)據(jù)。