[發明專利]基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統

在審

• 申請號: 201810868613.5
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN109002021A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 張志勝;王睿;馬繼山;戴敏
• 申請（專利權）人: 東南大學;江蘇南高智能裝備創新中心有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張婧

1.一種基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統，其特征在于，包括用于控制機臺設備生產的客戶端系統(1)、用于用戶管理和操作的中央控制服務器(2)，所述客戶端系統(1)包括OCR圖像處理模塊(3)、遠程監控模塊(4)、配方配置模塊(5)、數據采集模塊(6)、報警管理模塊(7)和日志處理模塊(8)，該客戶端系統(1)通過USB接口與機臺設備(9)相交互，讀取機臺設備(9)參數并發送指令控制機臺設備(9)動作；所述中央控制服務器(2)通過基于TCP/IP協議的Socket編程接口與客戶端系統(1)相連接控制客戶端系統(1)的操作。

2.根據權利要求1所述的基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統，其特征在于：所述OCR圖像處理模塊(3)用于識別處理機臺設備(9)屏幕信息，包括圖像預處理、字符切分、特征提取識別和建立字符數據庫；該OCR圖像處理模塊(3)是基于OCR圖像識別技術對機臺設備(9)屏幕讀取生產過程參數，首先通過學習的過程為生產過程參數建立對應的字符特征庫并構造分類器，然后對所識別的圖像進行二值化處理得到只有前景色與背景色的二值圖像，然后對二值圖像進行行、列字符切分獲得單個字符，最后對單個字符進行特征提取，將提取到的特征與字符特征庫進行匹配，匹配成功則識別出字符。

3.根據權利要求1所述的基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統，其特征在于：所述的遠程監控模塊(4)用于實時監視和控制半導體生產過程，包括運程監視設備狀態和遠程控制機臺設備(9)生產；其中，數據采集模塊(6)實時收集機臺設備(9)生產過程中的數據，并將數據傳輸至遠程監控模塊(4)進行統計分析，若監測到生產異常，則啟動報警管理模塊(7)，對生產過程進行控制。

4.根據權利要求1所述的基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統，其特征在于：所述的配方管理模塊(5)用于管理機臺設備的配方，其中包括配方上傳審批、配方下載使用和配方參數校驗，配方上傳審批是將機臺設備上新創建的配方程序上傳至中央控制服務器，并由生產工藝工程師完成配方參數的調優修改以及配方程序的審批升級，經過升級后的配方程序可下載到機臺設備中進行生產使用，配方參數校驗發生在機臺設備正式開機生產之前，通過數據采集模塊(6)讀取當前設備生產參數，并與升級后的配方參數進行比對，若比對通過，則允許機臺設備開機生產，若比對不通過，則需要向客戶端發送停機指令，阻止機臺設備繼續生產。

5.根據權利要求1所述的基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統，其特征在于：所述數據采集模塊(6)用于采集經過OCR圖像處理模塊(3)識別處理后所得到的機臺設備參數，包括生產數據和實時數據。

6.根據權利要求1所述的基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統，其特征在于：所述報警管理模塊(7)用于監測和處理機臺設備在生產過程中出現的異常報警，包括設備報警的編號、設備報警的ID和設備報警的內容；其中報警管理模塊通過監測并記錄機臺設備的報警信息，統計分析出機臺設備發生報警的原因，然后將設備報警的信息進行分類并根據不同的報警類型采取不同的應對措施。

7.根據權利要求1所述的基于OCR圖像處理技術的半導體生產遠程監控系統，其特征在于：所述日志處理模塊(8)用于記錄客戶端系統的系統日志、操作日志和運行日志，其中系統日志主要記錄當前日期時間、系統版本號和客戶端系統初始化的加載信息；操作日志主要記錄客戶端系統在OCR圖像處理模塊和配方管理模塊的操作過程中人為操作的日志；運行日志主要是記錄客戶端系統在運行的過程中接收中央控制服務器發送的指令和相應的處理過程。