[發明專利]一種自動切換防著板的濺鍍機

在審

• 申請號: 201810863269.0
• 申請日: 2018-08-01
• 公開（公告）號: CN108690959A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: 孫建忠
• 申請（專利權）人: 蘇州康普雷森精密機械有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246
• 代理人: 于浩江

本發明公開了一種自動切換防著板的濺鍍機，包含機架，機架內設有濺鍍源、輸送臺和工作臺，輸送臺的兩側均設置有防著板自動換位組件；防著板自動換位組件包含防著板、支撐架、旋轉驅動機構、移動驅動機構、托板和升降驅動部件；防著板的上下兩側均設置有彎折部，兩側的彎折部相互對稱；旋轉驅動機構帶動防著板轉動，移動驅動機構帶動支撐架橫移；升降驅動部件帶動托板升降，使其與下側的彎折部配合；由于飛濺出的靶材大多沉積在防著板的中下部，因此，長時間使用后，旋轉驅動機構可控制支撐架旋轉換位，使防著板上下都可以較為均勻的接受靶材，減少防著板拆換清理的頻率，從而降低了成本，節省了人力。

技術領域

本發明涉及一種自動切換防著板的濺鍍機。

背景技術

真空濺鍍是在真空環境下，使用物理的方式將材料源氣化為氣態分子、原子或離子，通過低壓氣體或離子體過程在基體表面沉積，使其具有某種特殊功能薄膜的技術；因濺鍍過程中，濺鍍源會隨機方向濺射，除了在目標基體表面附著外，還有一部分會附著在周圍其他部位的表面，為保護其他結構件避免附著、沉積膜層，需要使用防著板進行覆蓋防護；現有的防著板大多通過斜向設置，或加工成弧面來增加覆蓋范圍，但由于飛濺出的靶材大多沉積在防著板的中下部，并不能在防著板的整體均勻分布，使得防著板需要更換清理的頻率較高，周期較短，增加了成本，浪費了人力。

發明內容

針對上述存在的技術問題，本發明的目的是：提出了一種自動切換防著板的濺鍍機。

本發明的技術解決方案是這樣實現的：一種自動切換防著板的濺鍍機，包含機架，機架內設有濺鍍源、輸送臺和工作臺，工作臺設置在輸送臺上，濺鍍源設置在工作臺的上方，輸送臺的兩側均設置有防著板自動換位組件；所述防著板自動換位組件包含防著板、支撐架、旋轉驅動機構、移動驅動機構、托板和升降驅動部件；所述防著板沿豎向設置，防著板的上下兩側均設置有彎折部，兩側的彎折部相互對稱；所述防著板轉動設置在支撐架上，支撐架滑動設置在移動驅動機構上，旋轉驅動機構帶動防著板轉動，移動驅動機構帶動支撐架橫移；所述托板設置在防著板的下側，升降驅動部件帶動托板升降，使其與下側的彎折部配合。

優選的，所述彎折部上設置有鎖定孔，托板上設置有與鎖定孔配合的定位銷。

優選的，所述防著板連同彎折部的工作表面具有均勻分布的顆粒凸起結構。

優選的，所述顆粒凸起結構的截面形狀呈梯形。

由于上述技術方案的運用，本發明與現有技術相比具有下列優點：

本發明的自動切換防著板的濺鍍機，其防著板自動換位組件由防著板、支撐架、旋轉驅動機構、移動驅動機構、托板和升降驅動部件組成，防著板的上下兩側具有相互對稱的彎折結構，由于飛濺出的靶材大多沉積在防著板的中下部，因此，長時間使用后，旋轉驅動機構可控制支撐架旋轉換位，使防著板上下都可以較為均勻的接受靶材，減少防著板拆換清理的頻率，從而降低了成本，節省了人力。

附圖說明

下面結合附圖對本發明技術方案作進一步說明：

附圖1為本發明的一種自動切換防著板的濺鍍機的示意圖；

附圖2為本發明的顆粒凸起結構的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖來說明本發明。

如附圖1-2所示，本發明所述的一種防著板切換濺鍍機構，包含機架，機架內設有濺鍍源1、輸送臺2和工作臺3，工作臺3設置在輸送臺2上，輸送臺2帶動工作臺3移動切換工位，濺鍍源1設置在當前工作臺3的上方，輸送臺2的兩側均設置有防著板組件。