[發明專利]一種自動切換防著板的濺鍍機在審
| 申請號: | 201810863269.0 | 申請日: | 2018-08-01 |
| 公開(公告)號: | CN108690959A | 公開(公告)日: | 2018-10-23 |
| 發明(設計)人: | 孫建忠 | 申請(專利權)人: | 蘇州康普雷森精密機械有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/34 | 分類號: | C23C14/34 |
| 代理公司: | 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 于浩江 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 防著板 旋轉驅動機構 彎折部 支撐架 升降驅動部件 移動驅動機構 自動換位 濺鍍機 輸送臺 靶材 上下兩側 托板升降 工作臺 濺鍍源 可控制 拆換 飛濺 橫移 托板 沉積 換位 轉動 對稱 配合 | ||
1.一種自動切換防著板的濺鍍機,包含機架,機架內設有濺鍍源(1)、輸送臺(2)和工作臺(3),工作臺(3)設置在輸送臺(2)上,濺鍍源(1)設置在工作臺(3)的上方,輸送臺(2)的兩側均設置有防著板自動換位組件;其特征在于:所述防著板自動換位組件包含防著板(11)、支撐架(12)、旋轉驅動機構(15)、移動驅動機構(16)、托板(13)和升降驅動部件(17);所述防著板(11)沿豎向設置,防著板(11)的上下兩側均設置有彎折部(14),兩側的彎折部(14)相互對稱;所述防著板(11)轉動設置在支撐架(12)上,支撐架(12)滑動設置在移動驅動機構(16)上,旋轉驅動機構(15)帶動防著板(11)轉動,移動驅動機構(16)帶動支撐架(12)橫移;所述托板(13)設置在防著板(11)的下側,升降驅動部件(17)帶動托板(13)升降,使其與下側的彎折部(14)配合。
2.根據權利要求1所述的自動切換防著板的濺鍍機,其特征在于:所述彎折部(14)上設置有鎖定孔,托板(13)上設置有與鎖定孔配合的定位銷。
3.根據權利要求1所述的自動切換防著板的濺鍍機,其特征在于:所述防著板(11)連同彎折部(14)的工作表面具有均勻分布的顆粒凸起結構(21)。
4.根據權利要求3所述的自動切換防著板的濺鍍機,其特征在于:所述顆粒凸起結構(21)的截面形狀呈梯形。
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