[發明專利]一種真空鍍膜機真空室內磁導向平移機構

在審

• 申請號: 201810859252.8
• 申請日: 2018-07-31
• 公開（公告）號: CN108774732A
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 劉光斗;舒逸;李贊
• 申請（專利權）人: 湖南玉豐真空科學技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空鍍膜機真空室內磁導向平移機構，包括真空室、磁導向裝置，其特征在于：還包括多根橫向穿過真空室兩側側板的連接桿，多條磁導向裝置縱向固定在連接桿上，連接桿的一端固定在安裝板上，在安裝板與真空室之間的連接桿外套有波紋管，波紋管兩端分別與安裝板及真空室側板密閉連接，連接桿的另一端套在密封套筒內，密封套筒固定在真空室側板上，在真空室的兩端還各設有一根橫向穿過真空室兩側側板的傳動桿，在傳動桿上固定有與磁導向裝置一一對應的夾具，傳動桿一端與固定在安裝板上的旋轉馬達連接，在安裝板與真空室之間的傳動桿外套有波紋管，波紋管兩端分別于安裝板及真空室側板密閉連接，傳動桿的另一端套在密封套筒內，密封套筒固定在真空室側板上，所述安裝板與平移驅動裝置連接，所述平移驅動裝置可帶動安裝板往返移動。

2.如權利要求1所述的一種真空鍍膜機真空室內磁導向平移機構，其特征在于：所述平移驅動裝置包括平移馬達、與平移馬達連接的絲杠、與絲杠配合的絲杠螺母，所述絲杠螺母與安裝板連接。

3.如權利要求1所述的一種真空鍍膜機真空室內磁導向平移機構，其特征在于：還包括平移導向裝置，所述平移導向裝置包括直線滑軌、固定在安裝板上與直線滑軌配合的滑塊。

4.如權利要求1所述的一種真空鍍膜機真空室內磁導向平移機構，其特征在于：所述連接桿、傳動桿與真空室側板之間通過直線軸承連接。