[發明專利]一種高結合力透明導電電極的制備方法

有效

• 申請號: 201810858124.1
• 申請日: 2018-07-31
• 公開（公告）號: CN109215848B
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: 高進偉;董關平;潘敏強;冼志科
• 申請（專利權）人: 華南師范大學
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;H01B13/00;H01L31/0224
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 宣國華

1.一種高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，包含以下步驟：

（1）配制反應液：使用去離子水配制硝酸銀濃度為35～40g/L、氫氟酸濃度為90～95g/L的混合溶液并存放至1號容器中；使用去離子水配制硝酸銀濃度為2～5g/L、氫氟酸濃度為90～95g/L的混合溶液并存放至2號容器中；

（2）清洗硅片：將硅片依次用洗潔精、丙酮和無水乙醇清洗，然后用氮氣吹干，放入等離子體清洗機內清洗備用；

（3）旋涂覆蓋層：使用旋涂機，在步驟（2）清洗后的硅片表面上旋涂一層PI溶液；

（4）固化覆蓋層：將步驟（3）旋涂完成后的硅片放在烘臺上加熱，使旋涂的PI溶液固化為一層PI薄膜，得到PI薄膜硅片；

（5）制作犧牲層：使用旋涂機，在PI薄膜硅片的表面旋涂一層指甲油溶液，所述的指甲油溶液為由35～40%硝化纖維素、20～30%醋酸乙酯、10～15%醇酸乙酯、10～15%醋酸丁酯、6～8%樟腦、3～5%乙醇和1～2%染料組成的混合溶液，得到指甲油硅片；

（6）制作龜裂模板：將步驟（5）旋涂完成后的指甲油硅片放在烘臺上加熱至表面發生龜裂，然后再放入等離子體清洗機中轟擊，得到龜裂模板；

（7）第一次沉積反應：將步驟（6）所制得的龜裂模板用冰醋酸溶液清洗，并放入步驟（1）所述1號容器中的混合溶液中反應2～3秒；

（8）第二次沉積反應：將步驟（7）反應后的龜裂模板放入步驟（1）所述的2號容器中的混合溶液中反應2～4秒；

（9）制作反揭層：清洗步驟（8）反應后的龜裂模板，并在其表面滴涂一層UV膠，并覆蓋一層PET（聚對苯二甲酸乙二醇酯）溶液，并放置在紫外光下曝光，形成反揭層；

（10）反揭：將步驟（9）所述的反揭層撕下，撕下的部分即為高結合力透明導電電極。

2.根據權利要求1所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（1）中使用去離子水配制硝酸銀（AgNO₃）濃度為36.8g/L、氫氟酸（HF）濃度為92g/L的混合溶液并存放至1號容器中；使用去離子水配制硝酸銀（AgNO₃）濃度為3.4g/L、氫氟酸（HF）濃度為92g/L的混合溶液并存放至2號容器中。

3.根據權利要求1所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（2）中放入等離子體清洗機內清洗的時間為300～500s。

4.根據權利要求1所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（3）的旋涂過程中，先在500r/min的轉速下旋涂10～20s，然后在3000r/min的轉速下旋涂20～30s。

5.根據權利要求4所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（4）中所述烘臺的溫度為85～90℃，加熱時間為40～60min。

6.根據權利要求1所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（5）中所述的指甲油溶液為由40%硝化纖維素、25%醋酸乙酯、13%醇酸乙酯、10%醋酸丁酯、6%樟腦、5%乙醇和1%染料組成的混合溶液。

7.根據權利要求1所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（5）的旋涂過程中，先在500r/min的轉速下旋涂10～20s，然后在3000r/min的轉速下旋涂20～30s。

8.根據權利要求1～7任一項所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（6）中烘臺的加熱溫度為40～60℃，時間為10～30min，使用等離子體清洗機轟擊的時間為300～600s。

9.根據權利要求8所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（7）中將步驟（6）所制得的龜裂模板用冰醋酸溶液清洗的時間為20～40min。

10.根據權利要求1所述的高結合力透明導電電極的制備方法，其特征在于，步驟（9）中在紫外光下曝光的時間為8～10min。