[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810851496.1 | 申請日： | 2018-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN110299340B | 公開（公告）日： | 2023-03-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 松山宏 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社東芝;東芝電子元件及存儲裝置株式會社 |
| 主分類號： | H01L23/492 | 分類號： | H01L23/492 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 房永峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 裝置 | ||
實(shí)施方式涉及半導(dǎo)體裝置，具備：基板，設(shè)置在框體中；第1半導(dǎo)體芯片，設(shè)置在基板的上方，并具有第1上部電極、第1下部電極和第1柵極電極；板狀的第一極電極，具有沿第1方向設(shè)置在框體之外的第1第一極端子和沿與第1方向相反方向的第2方向設(shè)置在框體之外的第2第一極端子，該第一極電極的一部分設(shè)置在框體中；以及板狀的第二極電極，具有沿第1方向設(shè)置在框體之外的第1第二極端子和沿第2方向設(shè)置在框體之外的第2第二極端子，該第二極電極的一部分設(shè)置在框體中，與第一極電極對置設(shè)置。
本申請以日本專利申請2018—56220號(申請日：2018年3月23日) 為基礎(chǔ)申請來主張優(yōu)先權(quán)。本申請通過參照該基礎(chǔ)申請而包括基礎(chǔ)申請的全部內(nèi)容。
技術(shù)領(lǐng)域
實(shí)施方式涉及半導(dǎo)體裝置。
背景技術(shù)
在功率半導(dǎo)體模塊中，例如在金屬基板的上方，在之間夾持絕緣基板來安裝多個功率半導(dǎo)體芯片。功率半導(dǎo)體芯片例如是MOSFET(Metal Oxide Field EffectTransistor：金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管)、IGBT(Insulated Gate BipolarTransistor：絕緣柵雙極型晶體管)或者二極管。
通過將多個功率半導(dǎo)體模塊連接，例如構(gòu)成逆變器電路等電路系統(tǒng)。如果使用了功率半導(dǎo)體模塊的電路系統(tǒng)的電感大，則會產(chǎn)生開關(guān) (switching)損失變大這一問題。因此，希望降低使用了功率半導(dǎo)體模塊的電路系統(tǒng)的電感。
發(fā)明內(nèi)容
實(shí)施方式提供一種能夠降低電感的半導(dǎo)體裝置。
實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置具備：框體；基板，設(shè)置在上述框體中；第1 半導(dǎo)體芯片，設(shè)置在上述基板的上方，并具有第1上部電極、第1下部電極和第1柵極電極；板狀的第一極電極，具有沿第1方向設(shè)置在上述框體之外的第1第一極端子和沿與上述第1方向相反方向的第2方向設(shè)置在上述框體之外的第2第一極端子，該第一極電極的一部分設(shè)置在上述框體中；以及板狀的第二極電極，具有沿上述第1方向設(shè)置在上述框體之外的第1 第二極端子和沿上述第2方向設(shè)置在上述框體之外的第2第二極端子，該第二極電極的一部分設(shè)置在上述框體中，與上述第一極電極對置設(shè)置。
附圖說明
圖1A、1B是第1實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意俯視圖。
圖2A、2B是第1實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意俯視圖。
圖3A、3B、3C是第1實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意剖視圖。
圖4是第1實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的等效電路圖。
圖5A、5B是第1實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的作用以及效果的說明圖。
圖6是第2實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意俯視圖。
圖7A、7B是第2實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意俯視圖。
圖8是第2實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的作用以及效果的說明圖。
圖9A、9B是第3實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意俯視圖。
圖10是第4實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意剖視圖。
圖11A、11B是第5實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的示意圖。
圖12A、12B是第5實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置的作用以及效果的說明圖。
具體實(shí)施方式
在本說明書中，有時對于相同或者類似的部件賦予相同的附圖標(biāo)記，省略重復(fù)的說明。
在本說明書中，為了表示部件等的位置關(guān)系，有時將附圖的上方向記為“上”，將附圖的下方向記為“下”。在本說明書中，“上”、“下”的概念不一定是表示與重力的朝向的關(guān)系的用語。
(第1實(shí)施方式)
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