[發明專利]偏振膜的攝像裝置、檢查裝置以及檢查方法

有效

• 申請號: 201810846121.6
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN109324063B
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 佐佐木俊介;末廣一郎;柴田秀平;大衛·伊格·塞拉諾·加西亞;大谷幸利
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社;國立大學法人宇都宮大學
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種偏振膜的攝像裝置，以偏振膜為檢查對象來進行檢查，所述偏振膜的攝像裝置具備：

光源，其用于朝向所述偏振膜照射光；

攝像部，其在該光源的光軸上且在相對于所述偏振膜與所述光源相反的一側以朝向所述偏振膜的方式配置；

解析部，其解析由攝像部拍攝到的圖像的信息；

圓偏振片，其配置在所述光源與所述偏振膜之間；以及

波片，其配置在所述偏振膜與所述攝像部之間且配置于在所述光軸上與所述攝像部相鄰的位置，

其中，所述解析部具備：提取單元，其從所述攝像部獲取到的偏振信息中提取表示偏振特性的特性信息；以及處理單元，其對由該提取單元提取出的特性信息進行處理，

所述提取單元提取所述攝像部拍攝到的圖像的光強度、水平線性偏振光與垂直線性偏振光的光強度差、45°線性偏振光與135°線性偏振光的光強度差、以及右旋圓偏振光與左旋圓偏振光的光強度差來作為所述特性信息，

所述處理單元構成為基于光強度、水平線性偏振光與垂直線性偏振光的光強度差、45°線性偏振光與135°線性偏振光的光強度差、以及右旋圓偏振光與左旋圓偏振光的光強度差，來重新生成拍攝所述偏振膜得到的圖像，

所述攝像裝置構成為：在使所述圓偏振片的斯托克斯參數為下面的式S_c、使所述偏振膜的穆勒矩陣為下面的式M_f、使所述波片的穆勒矩陣為下面的式M_w的情況下，

[式S_c]

[式M_f]

[式M_w]

[式S]

通過上面的式S求出的斯托克斯參數所表示的偏振狀態的光到達所述攝像部。

2.根據權利要求1所述的偏振膜的攝像裝置，其特征在于，

所述波片構成為使入射光的相位偏移四分之一波長。

3.根據權利要求2所述的偏振膜的攝像裝置，其特征在于，

所述偏振膜以相對于所述光軸傾斜的狀態配置。

4.根據權利要求2所述的偏振膜的攝像裝置，其特征在于，

所述光源的光的波長為400nm～500nm、或700nm～1000nm。

5.根據權利要求3所述的偏振膜的攝像裝置，其特征在于，

所述光源的光的波長為400nm～500nm、或700nm～1000nm。

6.一種偏振膜的檢查裝置，具備：

根據權利要求1至5中的任一項所述的攝像裝置，以及

缺陷檢測部，其檢測映現在由該攝像裝置拍攝到的偏振膜的圖像中的該偏振膜的缺陷。

7.一種偏振膜的檢查方法，

利用根據權利要求1至5中的任一項所述的攝像裝置拍攝偏振膜，

檢測映現在由該攝像裝置拍攝到的圖像中的該偏振膜的缺陷。