[發明專利]雙面曝光機及雙面曝光方法

在審

• 申請號: 201810836041.2
• 申請日: 2018-07-26
• 公開（公告）號: CN108897197A
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發明（設計）人: 汪孝軍;廖平強;張勝
• 申請（專利權）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 劉培培

本發明涉及一種雙面曝光機及雙面曝光方法，雙面曝光機包括安裝架；相對設置的第一曝光組件和第二曝光組件、且均能夠沿安裝架移動；及均能夠沿安裝架移動的第一裝載臺和第二裝載臺。雙面曝光方法應用于雙面曝光機。通過第一曝光組件和第二曝光組件的設置，在第一運動狀態時形成第一曝光區，第一裝載臺在第一曝光區移動并進行第一待曝光件的曝光，同時，第二裝載臺裝載第二待曝光件，第二運動狀態時形成第二曝光區，第二裝載臺在第二曝光區移動并進行第二待曝光件的曝光，同時，第一裝載臺卸載或裝載下一個第一待曝光件，不僅無需翻轉即可實現正反面曝光，同時，充分利用曝光過程的時間，提高曝光效率，并利于實現自動化操作。

技術領域

本發明涉及雙面曝光技術領域，特別是涉及一種雙面曝光機及雙面曝光方法。

背景技術

傳統的雙面曝光機，通常采用菲林轉印進行雙面電路板的曝光。曝光前，需要先制作待轉印圖案的菲林；然后，將帶有兩面圖案的菲林分別固定在上下兩面玻璃上；接著，將待轉印圖案的電路板夾在上下兩塊玻璃之間，使用藍紫色高亮度光源進行曝光，將線路圖案轉印到線路板上，完成雙面曝光。而對于激光直寫曝光機，通常采用單面曝光。先對電路板的其中一面進行曝光，待曝光完成后進行翻轉，然后再對電路板的另一面進行曝光，最后完成對電路板的雙面曝光。

然而，激光直寫曝光機進行雙面曝光時，需進行翻轉操作，而翻轉操作必然會產生翻轉后進行對位的問題，不僅增加了曝光流程，同時也會因對位精度問題影響曝光精度，從而影響最終的曝光效果。

發明內容

基于此，有必要提供一種雙面曝光機及雙面曝光方法。該雙面曝光機在進行曝光時無需翻轉，減少曝光流程，提高曝光精度，進而提升曝光成像質量；該雙面曝光方法應用于前述的雙面曝光機，曝光效率更高，且便于實現自動化操作。

其技術方案如下：

一方面，提供了一種雙面曝光機，包括安裝架；曝光機構，所述曝光機構包括相對設置的第一曝光組件和第二曝光組件，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均能夠沿所述安裝架移動；及裝載機構，所述裝載機構包括第一裝載臺和第二裝載臺，所述第一裝載臺和所述第二裝載臺均能夠沿所述安裝架移動；所述第一曝光組件和所述第二曝光組件在第一運動狀態時形成第一曝光區，所述第一裝載臺在所述第一曝光區移動、并進行曝光；所述第一曝光組件和所述第二曝光組件在第二運動狀態時形成第二曝光區，所述第二裝載臺在所述第二曝光區移動、并進行曝光。

上述雙面曝光機，通過第一曝光組件和第二曝光組件的設置，在第一運動狀態時形成第一曝光區，第一裝載臺在第一曝光區移動并進行第一待曝光件的曝光，同時，第二裝載臺裝載第二待曝光件，第二運動狀態時形成第二曝光區，第二裝載臺在第二曝光區移動并進行第二待曝光件的曝光，同時，第一裝載臺卸載或裝載下一個第一待曝光件，不僅無需翻轉即可實現正反面曝光，同時，充分利用曝光過程的時間，提高曝光效率，并利于實現自動化操作。

下面進一步對技術方案進行說明：

在其中一個實施例中，安裝架還設有工作臺，工作臺設有曝光通孔，曝光通孔與第一曝光區和第二曝光區對應設置，第一曝光組件和第二曝光組件分別設于工作臺的兩側，第一裝載臺和第二裝載臺均沿工作臺移動。

在其中一個實施例中，工作臺設有第一軌道和第二軌道，第一裝載臺沿第一軌道移動，第二裝載臺沿第二軌道移動。

在其中一個實施例中，曝光通孔包括第一曝光通孔和第二曝光通孔，第一曝光通孔與第一曝光區對應設置，第二曝光通孔與第二曝光區對應設置。

在其中一個實施例中，安裝架還設有移動導桿和與移動導桿配合移動的移動架，第一曝光組件和第二曝光組件設于移動架。

在其中一個實施例中，第一曝光組件和第二曝光組件均沿第一方向移動，第一裝載臺和第二裝載臺均沿第二方向移動。