[發(fā)明專利]雙面曝光機(jī)及雙面曝光方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810836041.2
• 申請(qǐng)日: 2018-07-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108897197A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪孝軍;廖平強(qiáng);張勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 劉培培

1.一種雙面曝光機(jī)，其特征在于，包括：

安裝架；

曝光機(jī)構(gòu)，所述曝光機(jī)構(gòu)包括相對(duì)設(shè)置的第一曝光組件和第二曝光組件，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均能夠沿所述安裝架移動(dòng)；及

裝載機(jī)構(gòu)，所述裝載機(jī)構(gòu)包括第一裝載臺(tái)和第二裝載臺(tái)，所述第一裝載臺(tái)和所述第二裝載臺(tái)均能夠沿所述安裝架移動(dòng)；

所述第一曝光組件和所述第二曝光組件在第一運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)形成第一曝光區(qū)，所述第一裝載臺(tái)在所述第一曝光區(qū)移動(dòng)、并進(jìn)行曝光；

所述第一曝光組件和所述第二曝光組件在第二運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)形成第二曝光區(qū)，所述第二裝載臺(tái)在所述第二曝光區(qū)移動(dòng)、并進(jìn)行曝光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，所述安裝架還設(shè)有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)設(shè)有曝光通孔，所述曝光通孔與所述第一曝光區(qū)和所述第二曝光區(qū)對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件分別設(shè)于所述工作臺(tái)的兩側(cè)，所述第一裝載臺(tái)和所述第二裝載臺(tái)均沿所述工作臺(tái)移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，所述工作臺(tái)設(shè)有第一軌道和第二軌道，所述第一裝載臺(tái)沿所述第一軌道移動(dòng)，所述第二裝載臺(tái)沿所述第二軌道移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，所述曝光通孔包括第一曝光通孔和第二曝光通孔，所述第一曝光通孔與所述第一曝光區(qū)對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述第二曝光通孔與所述第二曝光區(qū)對(duì)應(yīng)設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，所述安裝架還設(shè)有移動(dòng)導(dǎo)桿和與所述移動(dòng)導(dǎo)桿配合移動(dòng)的移動(dòng)架，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件設(shè)于所述移動(dòng)架。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均沿第一方向移動(dòng)，所述第一裝載臺(tái)和所述第二裝載臺(tái)均沿第二方向移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，還包括控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)包括控制器，所述控制器用于控制所述第一曝光組件、所述第二曝光組件、所述第一裝載臺(tái)和所述第二裝載臺(tái)的移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，還包括檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括第一檢測(cè)組件、第二檢測(cè)組件和第三檢測(cè)組件，所述第一檢測(cè)組件、所述第二檢測(cè)組件和所述第三檢測(cè)組件均與所述控制器電性連接，所述第一檢測(cè)組件用于檢測(cè)所述第一裝載臺(tái)的移動(dòng)位置，所述第二檢測(cè)組件用于檢測(cè)所述第二裝載臺(tái)的移動(dòng)位置，所述第三檢測(cè)組件用于檢測(cè)所述第一曝光組件和所述第二曝光組件的移動(dòng)位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)器、第二驅(qū)動(dòng)器和第三驅(qū)動(dòng)器，所述第一驅(qū)動(dòng)器、所述第二驅(qū)動(dòng)器和所述第三驅(qū)動(dòng)器均與所述控制器電性連接，所述第一驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)所述第一裝載臺(tái)移動(dòng)，所述第二驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)所述第二裝載臺(tái)移動(dòng)，所述第三驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)所述第一曝光組件和所述第二曝光組件移動(dòng)。

10.一種雙面曝光方法，能夠應(yīng)用于如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的雙面曝光機(jī)，其特征在于，包括以下步驟：

(S1)、第一裝載臺(tái)位于第一初始位置，第二裝載臺(tái)位于第二初始位置，在所述第一裝載臺(tái)裝載第一待曝光件；

(S2)、第一曝光組件和第二曝光組件移動(dòng)至第一區(qū)域、并形成第一曝光區(qū)；

(S3)、所述第一裝載臺(tái)移動(dòng)、使所述第一待曝光件通過(guò)所述第一曝光區(qū)進(jìn)行曝光、并完成曝光、得到第一曝光成品；同時(shí)，在所述第二裝載臺(tái)裝載第二待曝光件；

(S4)、所述第一曝光組件和所述第二曝光組件移動(dòng)至第二區(qū)域、并形成第二曝光區(qū)；同時(shí)，所述第一裝載臺(tái)移動(dòng)至所述第一初始位置、并卸載所述第一曝光成品；

(S5)、所述第二裝載臺(tái)移動(dòng)、使所述第二待曝光件通過(guò)所述第二曝光區(qū)進(jìn)行曝光、并完成曝光、得到第二曝光成品；同時(shí)，在所述第一裝載臺(tái)裝載下一個(gè)第一待曝光件；

(S6)、所述第一曝光組件和所述第二曝光組件移動(dòng)至所述第一區(qū)域、并形成所述第一曝光區(qū)；同時(shí)，所述第二裝載臺(tái)移動(dòng)至所述第二初始位置、并卸載所述第二曝光成品。