[發(fā)明專利]一種體聲波器件及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810835617.3
• 申請(qǐng)日: 2018-07-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109039297B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭彥豪;李平;胡念楚;賈斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 開(kāi)元通信技術(shù)（廈門(mén)）有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

本發(fā)明公開(kāi)了一種體聲波器件，包括襯底；位于襯底第一表面的第一電極；位于第一電極背向襯底一側(cè)表面的壓電薄膜；位于壓電薄膜背向襯底一側(cè)表面的第二電極；其中，壓電薄膜中位于第二電極與第一電極相錯(cuò)區(qū)域的壓電薄膜形成非體聲波傳播部；位于非體聲波傳播部的第三電極；其中，第三電極與第一電極和第二電極中的至少一個(gè)形成電容。由于上述第三電極的存在，相當(dāng)于在體聲波器件中集成了一個(gè)電容。當(dāng)包含有該體聲波器件的濾波器、雙工器或多工器處在工作狀態(tài)時(shí)，上述在體聲波器件中集成與體聲波器件相互并聯(lián)的電容可以有效提升濾波器、雙工器或多工器的性能。本發(fā)明還提供了一種體聲波器件的制備方法，所制備的體聲波器件同樣具有上述有益效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及聲波器件領(lǐng)域，特別是涉及一種體聲波器件及其制備方法。

背景技術(shù)

隨著近年來(lái)科技不斷的進(jìn)步以及通訊行業(yè)的發(fā)展，移動(dòng)終端，例如手機(jī)越來(lái)越普及。而濾波器作為移動(dòng)終端中不可缺少的射頻器件，也廣泛的應(yīng)用在移動(dòng)終端中。

現(xiàn)階段常用的濾波器有聲表面波器件和體聲波器件。其中體聲波器件作為濾波器的一種，因其具有插入損耗低、高滾降特性、功率承受能力強(qiáng)、適用于高頻等優(yōu)勢(shì)被廣泛應(yīng)用在通訊行業(yè)之中。

體聲波器件作為濾波器的一種，如何有效提高體聲波器件的性能，例如帶外抑制、回波損耗等是本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種體聲波器件，可以有效提升體聲波器件的性能；本發(fā)明的另一目的在于提供一種體聲波器件的制備方法，所制造出的體聲波器件具有較高的性能。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種體聲波器件，所述體聲波器件包括：

襯底；

位于所述襯底第一表面的第一電極；

位于所述第一電極背向所述襯底一側(cè)表面的壓電薄膜；

位于所述壓電薄膜背向所述襯底一側(cè)表面的第二電極；其中，所述壓電薄膜中位于所述第二電極與所述第一電極相錯(cuò)區(qū)域的壓電薄膜形成非體聲波傳播部；

位于所述非體聲波傳播部的第三電極；其中，所述第三電極與所述第一電極和所述第二電極中的至少一個(gè)形成電容。

可選的，所述第三電極沿水平方向的截面為U型截面；所述第二電極朝向所述第三電極的端部伸入至所述第三電極。

可選的，所述體聲波器件還包括：

沿所述壓電薄膜厚度方向貫穿所述非體聲波傳播部的焊盤(pán)設(shè)置窗口；

位于所述焊盤(pán)設(shè)置窗口，與所述第一電極電連接的第一焊盤(pán)；

位于所述第二電極背向所述襯底一側(cè)表面的第二焊盤(pán)。

可選的，所述體聲波器件還包括：

沿所述壓電薄膜厚度方向貫穿所述非體聲波傳播部的第三電極設(shè)置窗口；

所述第三電極位于所述第三電極設(shè)置窗口，且所述第三電極與所述第一電極電連接。

可選的，所述體聲波器件還包括：

沿所述壓電薄膜厚度方向延伸至所述非體聲波傳播部中與所述第一電極相錯(cuò)的區(qū)域的第三電極設(shè)置窗口；

所述第三電極位于所述第三電極設(shè)置窗口，且所述第三電極與所述第二電極電連接。

可選的，所述第三電極位于所述非體聲波傳播部背向所述襯底一側(cè)表面，且所述第三電極與所述第二電極不電連接。

可選的，所述第三電極位于所述非體聲波傳播部朝向所述襯底一側(cè)表面，且所述第三電極與所述第一電極不電連接。

本發(fā)明還提供了一種體聲波器件的制備方法，所述方法包括：