[發明專利]一種體聲波器件及其制備方法

有效

• 申請號: 201810835617.3
• 申請日: 2018-07-26
• 公開（公告）號: CN109039297B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發明（設計）人: 彭彥豪;李平;胡念楚;賈斌
• 申請（專利權）人: 開元通信技術（廈門）有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種體聲波器件，其特征在于，所述體聲波器件包括：

襯底；

位于所述襯底第一表面的第一電極；

位于所述第一電極背向所述襯底一側表面的壓電薄膜；

位于所述壓電薄膜背向所述襯底一側表面的第二電極；其中，所述壓電薄膜中位于所述第二電極與所述第一電極相錯區域的壓電薄膜形成非體聲波傳播部；

位于所述非體聲波傳播部的第三電極；其中，所述第三電極與所述第一電極和所述第二電極中的至少一個形成電容；

所述壓電薄膜中位于所述第二電極與所述第一電極相對區域的壓電薄膜形成體聲波傳播部；

在所述壓電薄膜中所傳遞的聲波僅會在所述體聲波傳播部進行傳播；

所述電容的諧振頻率與所述體聲波傳播部的諧振頻率不同。

2.根據權利要求1所述的體聲波器件，其特征在于，所述第三電極沿水平方向的截面為U型截面；所述第二電極朝向所述第三電極的端部伸入至所述第三電極。

3.根據權利要求1所述的體聲波器件，其特征在于，所述體聲波器件還包括：

沿所述壓電薄膜厚度方向貫穿所述非體聲波傳播部的焊盤設置窗口；

位于所述焊盤設置窗口，與所述第一電極電連接的第一焊盤；

位于所述第二電極背向所述襯底一側表面的第二焊盤。

4.根據權利要求1至3任一項權利要求所述的體聲波器件，其特征在于，所述體聲波器件還包括：

沿所述壓電薄膜厚度方向貫穿所述非體聲波傳播部的第三電極設置窗口；

所述第三電極位于所述第三電極設置窗口，且所述第三電極與所述第一電極電連接。

5.根據權利要求1至3任一項權利要求所述的體聲波器件，其特征在于，所述體聲波器件還包括：

沿所述壓電薄膜厚度方向延伸至所述非體聲波傳播部中與所述第一電極相錯的區域的第三電極設置窗口；

所述第三電極位于所述第三電極設置窗口，且所述第三電極與所述第二電極電連接。

6.根據權利要求1至3任一項權利要求所述的體聲波器件，其特征在于，所述第三電極位于所述非體聲波傳播部背向所述襯底一側表面，且所述第三電極與所述第二電極不電連接。

7.根據權利要求1至3任一項權利要求所述的體聲波器件，其特征在于，所述第三電極位于所述非體聲波傳播部朝向所述襯底一側表面，且所述第三電極與所述第一電極不電連接。

8.一種體聲波器件的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

在襯底的第一表面設置第一電極、壓電薄膜、第二電極和第三電極，以制成所述體聲波器件；其中，所述第一電極位于所述襯底的所述第一表面，所述壓電薄膜位于所述第一電極背向所述襯底一側表面，所述第二電極位于所述壓電薄膜背向所述襯底一側表面，所述壓電薄膜中位于所述第二電極與所述第一電極相錯區域的壓電薄膜為非體聲波傳播部；所述第三電極位于所述非體聲波傳播部，所述第三電極與所述第一電極和所述第二電極中的至少一個形成電容；

所述壓電薄膜中位于所述第二電極與所述第一電極相對區域的壓電薄膜形成體聲波傳播部；在所述壓電薄膜中所傳遞的聲波僅會在所述體聲波傳播部進行傳播；所述電容的諧振頻率與所述體聲波傳播部的諧振頻率不同。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述在襯底的第一表面設置第一電極、壓電薄膜、第二電極和第三電極包括：

在所述襯底的第一表面設置所述第一電極；

在所述第一電極表面沉積所述壓電薄膜；

在所述壓電薄膜表面沉積金屬層；

圖案化所述金屬層以在所述壓電薄膜表面形成所述第二電極；

刻蝕所述非體聲波傳播部至所述第一電極，以形成第三電極設置窗口；

在所述第三電極設置窗口中形成所述第三電極。