[發明專利]一種CMP拋光墊封邊工藝在審
| 申請號： | 201810834832.1 | 申請日： | 2018-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN108972381A | 公開（公告）日： | 2018-12-11 |
| 發明（設計）人： | 但文濤;姜千 | 申請（專利權）人： | 成都時代立夫科技有限公司 |
| 主分類號： | B24D11/00 | 分類號： | B24D11/00;B24D18/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 610200 四川省成都市*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光墊 封邊 襯底 貼合 膠粘劑 拋光液 基材 修整 加工制造領域 常溫條件 發霉現象 均勻涂抹 拋光過程 使用壽命 水分通過 水平度 涂膠 蘸取 海綿 合格率 并用 閑置 配置 保證 檢查 | ||
【權利要求書】：
1.一種CMP拋光墊封邊工藝，其特征在于，主要包括以下步驟：將拋光墊的襯底與基材進行貼合，貼合之后檢查拋光墊邊沿并進行修整；配置膠粘劑，并用海綿蘸取膠粘劑，均勻涂抹至拋光墊邊沿進行封邊，在常溫條件下進行干燥。
2.根據權利要求1所述的工藝，其特征在于，拋光墊的襯底與基材通過貼合機進行貼合，貼合溫度為20-120℃，所述貼合機的傳送速度為200-2000mm/min。
3.根據權利要求1所述的工藝，其特征在于，所述膠粘劑由以下方法制得：以Ailete221AB膠為原料，將所述Ailete221 AB膠在容器中按照體積比1:1的比例混合均勻。
4.根據權利要求1所述的工藝，其特征在于，所述膠粘劑的用量為0.005-0.02g/cm2。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于成都時代立夫科技有限公司，未經成都時代立夫科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810834832.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
