[發明專利]擴散爐爐體在審
| 申請號: | 201810833677.1 | 申請日: | 2018-07-26 |
| 公開(公告)號: | CN108870974A | 公開(公告)日: | 2018-11-23 |
| 發明(設計)人: | 姜新誠;施廣博;王兆敏 | 申請(專利權)人: | 青島晨立電子有限公司 |
| 主分類號: | F27B17/00 | 分類號: | F27B17/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 266200 山東*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電阻絲 保溫層 爐體 擴散爐 圓筒狀設置 體內 絕緣子 技術方案要點 溫度均勻性 爐體外壁 爐體中間 螺旋設置 芯片加工 均勻性 外壁 | ||
1.一種擴散爐爐體,其特征在于:包括呈圓筒狀設置的爐體外壁(1)、設置在外壁內側的呈圓筒狀設置的保溫層(2)、設置在保溫層(2)上的螺旋設置的電阻絲(3)以及設置在保溫層(2)上用于將電阻絲(3)固定在保溫層(2)上的若干絕緣子(4);
在保溫層(2)上靠近爐體前端三分之一的部分,相鄰兩圈電阻絲(3)之間的距離為3~10毫米,爐體中間三分之一端的相鄰兩圈電阻絲(3)之間的距離為4~12毫米,爐體后端三分之一的部分,相鄰兩圈電阻絲(3)之間的距離為3~10毫米。
2.根據權利要求1所述的擴散爐爐體,其特征在于:所述電阻絲(3)的材料為HRE材質。
3.根據權利要求1所述的擴散爐爐體,其特征在于:所述保溫層(2)由陶瓷纖維材料制成。
4.根據權利要求1所述的擴散爐爐體,其特征在于:所述絕緣子(4)在保溫層(2)上分成若干組,每一組絕緣組都沿爐體外壁(1)的長度方向進行排布。
5.根據權利要求4所述的擴散爐爐體,其特征在于:所述絕緣子(4)一端插入到保溫層(2)當中,另一端伸出保溫層(2),絕緣子(4)伸出保溫層(2)的一端的上下兩側分別開設有相互對應的呈半圓狀設置的上凹槽(41)和下凹槽(44),上凹槽(41)和下凹槽(44)的半徑都與電阻絲(3)的半徑相等;
絕緣子(4)位于保溫層(2)內的一端的頂部開設有截面呈等腰梯形狀的連接槽(42),連接槽(42)的底部一側水平設置;絕緣子(4)位于保溫層(2)內的一端的底部固定連接有與連接槽(42)相互配合的大小形狀與連接槽(42)相同的連接塊(43),當相鄰兩絕緣子(4)的連接塊(43)與連接槽(42)相互配合時,相鄰兩絕緣子(4)的上凹槽(41)和下凹槽(44)共同組成一個完整的圓。
6.根據權利要求5所述的擴散爐爐體,其特征在于:所述連接槽(42)底部兩端設置有第一圓角(421),所述連接塊(43)底部兩端設置有與第一圓角(421)大小形狀完全相同并且與第一圓角(421)相互配合的第二圓角(431)。
7.根據權利要求5所述的擴散爐爐體,其特征在于:所述絕緣子(4)伸入到保溫層(2)中的一端沿豎直方向開設有連接孔(45),當相鄰兩絕緣子(4)的連接塊(43)插入到連接槽(42)中之后,相鄰兩絕緣子(4)的連接孔(45)相互連通;
同一組的絕緣子(4)的連接孔(45)當中設置有一將同一組的若干絕緣子(4)連接在一起的連接繩(46)。
8.根據權利要求1所述的擴散爐爐體,其特征在于:所述絕緣子(4)由陶瓷材料制成。
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