[發明專利]連接模塊、檢查夾具及基板檢查裝置

有效

• 申請號: 201810824230.8
• 申請日: 2018-07-25
• 公開（公告）號: CN109298310B
• 公開（公告）日: 2023-10-27
• 發明（設計）人: 裴子容;山下宗寬
• 申請（專利權）人: 日本電產理德股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 包躍華;金玉蘭

本發明提供連接模塊、檢查夾具及基板檢查裝置，該連接模塊用于使成為連接對象的第一端子與成為連接對象的第二端子導通，具備：第一面，形成有用于與上述第一端子的一端部接觸的第一電極；第二面，與上述第一面相對，且設置有用于與上述第二端子接觸的第二電極；以及導電部，將上述第一電極與上述第二電極(E2)電連接，上述第二電極具有以與上述第二端子(標準配置電極)相對的方式配設，并且從相對于上述導電部的連接位置以相同的角度間隔呈放射狀延伸的多根連接分支。

技術領域

本發明涉及用于使探針與檢查裝置主體導通的連接模塊、具備該連接模塊的檢查夾具及基板檢查裝置。

背景技術

以往，已知使配置成多針狀的多個探針與印刷布線基板和/或半導體基板等檢查對象物的多個檢查點接觸而進行檢查對象物的檢查的檢查裝置。另外，已知具備保持這樣的多針狀的探針的夾具頭，并將該探針與檢查裝置主體電連接的檢查夾具。

然而，近年來，檢查點的間距變得非常微細，另外檢查點的數量也多，在如上所述的檢查裝置中，例如使用幾千根左右的探針。另外，就檢查裝置主體側的連接端子(電極)而言，從制造的容易性、連接可靠性和耐久性的觀點考慮，不得不形成為一定程度上較大的形狀，并以比檢查點的配置間隔寬的間隔進行配置。因此，無法將這些探針與檢查裝置主體直接連接。于是，利用線纜將這些探針與檢查裝置主體進行連接。

然而，如果檢查對象物變化則檢查點的配置也發生變化，因此相應地需要改制保持探針的夾具頭。如果改制夾具頭，則需要重新進行線纜的連接，產生幾千根的電纜連接操作。因此，該電纜連接工時成為沉重的負擔。

因此，已知具備將檢查點的配置間隔轉換為檢查裝置側的電極的配置間隔的間距轉換模塊的基板檢查裝置。例如，在日本公開公報特開2005-172603號中記載了通過將間距轉換模塊的上表面電極部和下表面電極部以正格子狀排列，使探針的前端側與檢查點的配置相配合，并且將探針的基端部以正格子狀配置，從而使間距轉換模塊標準化的技術。

然而，根據專利文獻1中記載的技術，構成為通過使設置于掃描器的上表面的電極部與設置于間距轉換模塊的第二電極(專利文獻1的下表面電極部37)接觸，從而將檢查夾具與檢查裝置電連接。但是，如果在第二電極的表面形成絕緣性的氧化被膜，則容易產生第二電極與電極部的接觸不良，因此可考慮在第二電極設置接觸導電性高的插針而進行焊接。

然而，此時，需要手動地在配設在與探針的個數對應的例如幾千個位置的第二電極設置插針而進行焊接，存在操作極其繁瑣且制造成本變高這樣的問題。另外，為防止氧化還對第二電極的表面實施鍍金等，但是在此情況下也無法避免制造成本變高。

發明內容

技術問題

本發明的目的在于提供容易降低接觸不良的產生且能夠低廉地制造的連接模塊、檢查夾具和基板檢查裝置。

本發明例示的實施方式的連接模塊用于使成為連接對象的第一端子與成為連接對象的第二端子導通。具備：第一面，設置有用于與上述第一端子接觸的第一電極；第二面，與上述第一面相對，且設置有用于與上述第二端子接觸的第二電極；以及導電部，將上述第一電極與上述第二電極電連接。上述第二電極具有從相對于上述導電部的連接位置以實質上相同的角度間隔呈放射狀延伸的多根連接分支。

根據該構成，與將第二電極形成為圓盤狀的情況相比，能夠大幅降低第二電極與第二端子的接觸面積，而充分提高兩者的接觸壓力，因此，即使在第二電極的表面形成有薄的氧化膜的情況下，也能夠突破該氧化膜而將第二電極與標準配置電極導通連接。因此，無需對第二電極的表面實施用于防止氧化的鍍金，或者在第二電極設置接觸導電性高的插針而進行焊接，能夠以簡單的結構有效地提高第二電極與第二端子的接觸穩定性，容易低廉地制造檢查夾具。