[發(fā)明專利]連接模塊、檢查夾具及基板檢查裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810824230.8 | 申請日: | 2018-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN109298310B | 公開(公告)日: | 2023-10-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 裴子容;山下宗寬 | 申請(專利權(quán))人: | 日本電產(chǎn)理德股份有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/28 | 分類號: | G01R31/28 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286 | 代理人: | 包躍華;金玉蘭 |
| 地址: | 日本京都*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 連接 模塊 檢查 夾具 裝置 | ||
1.一種連接模塊,其特征在于,用于使成為連接對象的第一端子與成為連接對象的第二端子導(dǎo)通,所述連接模塊具備:
第一面,設(shè)置有用于與所述第一端子接觸的第一電極;
第二面,與所述第一面相對,且設(shè)置有用于與所述第二端子接觸的第二電極;以及
導(dǎo)電部,將所述第一電極與所述第二電極電連接,
所述第二電極具有從相對于所述導(dǎo)電部的連接位置以實(shí)質(zhì)上相同的角度間隔呈放射狀延伸的多根連接分支。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接模塊,其特征在于,在所述第二面,以正格子狀且以預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)配置配設(shè)多個(gè)所述第二電極,
以多個(gè)所述第二電極中的任意一個(gè)所述第二電極所具有的連接分支和與該任意一個(gè)所述第二電極相鄰的所述第二電極所具有的連接分支相互分開的狀態(tài)進(jìn)行配設(shè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連接模塊,其特征在于,多個(gè)所述第二電極分別具有三根所述連接分支,
配設(shè)于所述標(biāo)準(zhǔn)配置的第一列上的各個(gè)所述第二電極以使該各個(gè)所述第二電極所具有的所述連接分支之一分別朝向?qū)嵸|(zhì)上相同的方向的方式進(jìn)行配設(shè),
配設(shè)于與所述第一列相鄰的第二列上的各個(gè)所述第二電極以使該各個(gè)所述第二電極所具有的連接分支之一分別朝向與所述第一列的所述連接分支所朝向的方向?qū)嵸|(zhì)上相反的方向的方式進(jìn)行配設(shè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連接模塊,其特征在于,多個(gè)所述第二電極分別具有四根所述連接分支,
多個(gè)所述第二電極中的任意一個(gè)所述第二電極具有的所述連接分支所朝向的方向和與該任意一個(gè)所述第二電極相鄰的所述第二電極具有的所述連接分支所朝向的方向之間所成的角度實(shí)質(zhì)上為45°。
5.一種檢查夾具,其特征在于,用于使設(shè)置于檢查對象物的多個(gè)檢查點(diǎn)與對所述檢查對象物進(jìn)行電氣檢查的檢查裝置主體導(dǎo)通,所述檢查夾具具備:
權(quán)利要求2~4中任一項(xiàng)所述的連接模塊;
多個(gè)探針,其前端部以能夠分別與所述多個(gè)檢查點(diǎn)接觸的方式配設(shè);
支撐部件,支撐該多個(gè)探針;以及
底板,配設(shè)有用于與所述檢查裝置主體電連接的多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)配置電極,
所述多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)配置電極以所述標(biāo)準(zhǔn)配置進(jìn)行配置,
所述探針或與該探針的后端部導(dǎo)通的導(dǎo)通部件為所述第一端子,
所述標(biāo)準(zhǔn)配置電極為所述第二端子。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查夾具,其特征在于,所述標(biāo)準(zhǔn)配置電極具有凹陷部和形成于所述凹陷部的前端的環(huán)狀的抵接部,
該抵接部被配設(shè)為能夠與所述連接分支接觸。
7.一種基板檢查裝置,其特征在于,具備:權(quán)利要求5或6所述的檢查夾具;以及所述檢查裝置主體。
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