[發(fā)明專利]一種有機分子的真空沉積裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810817100.1
• 申請日: 2018-07-13
• 公開（公告）號: CN108837962A
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設計）人: 傅晶晶;張向平
• 申請（專利權）人: 金華職業(yè)技術學院
• 主分類號: B05B5/08
• 分類號: B05B5/08;B05B5/03
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種有機分子的真空沉積裝置，主要包括電噴霧裝置(1)、位移臺(2)、毛細管(3)、真空腔體(4)、離子聚束器I(5)、離子聚束器II(6)、靜電偏向器(7)、四極質量過濾器(8)和樣品臺(9)，xyz為三維坐標系，電噴霧裝置(1)安裝在位移臺(2)上能夠三維移動，所述真空腔體(4)為兩段圓柱形真空腔呈90度連接而成、且具有初始端和末端，所述離子聚束器I(5)、離子聚束器II(6)、靜電偏向器(7)、四極質量過濾器(8)、樣品臺(9)依次均位于真空腔體(4)內，靜電偏向器(7)位于真空腔的轉角處，四極質量過濾器(8)具有極板，樣品臺(9)上具有襯底，所述真空腔體(4)連接有多個真空泵組，使得在離子聚束器I(5)處真空度1.0mbar、在離子聚束器II(6)處真空度4×10^-2mbar、在靜電偏向器(7)處真空度1×10^-5mbar、在四極質量過濾器(8)處真空度1×10^-7mbar；所述真空腔體(4)的初始端連接有毛細管(3)，電噴霧裝置(1)產(chǎn)生的液滴能夠通過所述毛細管(3)進入真空腔體(4)，液滴中大部分溶劑被真空泵組抽出真空腔體(4)外，液滴中的待沉積分子的離子包和帶電雜質依次通過離子聚束器I(5)、離子聚束器II(6)到達靜電偏向器(7)，在靜電偏向器(7)中待沉積分子的離子包和帶電雜質被偏轉90度后，到達四極質量過濾器(8)，而中性雜質不會被偏轉；在四極質量過濾器(8)中經(jīng)過荷質比選擇，帶電雜質被偏轉并與四極質量過濾器(8)的極板碰撞而被過濾，最終僅有待沉積分子的離子包到達樣品臺(9)上的襯底表面；電噴霧裝置(1)由外管(1-1)、內管(1-2)、擋板(1-3)、進氣口(1-4)、液體入口(1-5)組成，所述外管(1-1)和內管(1-2)均為圓柱形，外管(1-1)的內徑為3000微米，內管(1-2)的外徑為2700微米，所述外管(1-1)和內管(1-2)為同軸嵌套構型，外管(1-1)和內管(1-2)之間為液體通道，進氣口(1-4)和液體入口(1-5)分別連接外管(1-1)外壁并與液體通道連通，外管(1-1)內壁具有分散的沿外管軸向的形狀完全相同的凹槽，能夠增大局域電場，

其特征是：離子聚束器I(5)將真空腔體(4)分為真空段I(4-1)和真空段II(4-2)，離子聚束器I(5)位于真空腔體(4)起始端一側的真空段I(4-1)中，離子聚束器II(6)位于真空段II(4-2)起始端一側的真空段II(4-2)中，離子聚束器I(5)由三十塊厚度為一毫米的金屬環(huán)形電極組成，相鄰金屬環(huán)形電極用一毫米厚的絕緣片隔開，環(huán)形電極的內徑從五十毫米到五毫米線性遞減；離子聚束器II(6)由六十個金屬環(huán)形電極組成，相鄰金屬環(huán)形電極用二毫米厚的絕緣片隔開，其中前十個環(huán)形電極內徑三十毫米，后五十個環(huán)形電極的內徑從三十毫米到二毫米線性遞減；所述擋板(1-3)為直徑2900微米的圓形金屬板，且與所述內管(1-2)的一側端口同心，并將所述內管(1-2)的一側端口密封，擋板(1-3)邊緣具有形狀相同的缺口，相鄰的所述缺口之間的間距一致，擋板(1-3)能夠繞外管(1-1)和內管(1-2)的軸線旋轉，以控制噴射束流。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種有機分子的真空沉積裝置，其特征是：所述外管(1-1)內壁的凹槽的數(shù)量為四到十二個，凹槽斷面形狀為半圓形或正方形或三角形，所述半圓形的半徑范圍30微米到50微米，所述正方形的邊長范圍40微米到60微米，所述三角形邊長范圍30微米到60微米。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種有機分子的真空沉積裝置，其特征是：擋板(1-3)上缺口的數(shù)量為四到十二個，缺口形狀為半圓形或正方形或三角形，所述半圓形的半徑范圍30微米到50微米，所述正方形的邊長范圍40微米到60微米，所述三角形邊長范圍30微米到60微米。