[發(fā)明專(zhuān)利]CMP固定環(huán)清洗方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810814415.0 | 申請(qǐng)日： | 2018-07-23 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108857856A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;李力平 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B24B37/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 315000 浙江省寧波*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 固定環(huán) 清洗 油污清洗劑 甜菜堿型兩性表面活性劑 兩性表面活性劑 氨基酸型 研磨 漂洗 油污 劃痕 晶圓 去除 水中 | ||
1.一種CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，其包括以下步驟：將CMP固定環(huán)投入具有油污清洗劑的水中清洗，隨后用水漂洗；
其中，所述油污清洗劑選自于氨基酸型兩性表面活性劑、甜菜堿型兩性表面活性劑中的至少一種。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，所述氨基酸型兩性表面活性劑選自于N-十二烷基丙氨酸、十二烷基氨基丙酸鈉和N-酰基氨基酸鈉組成的組合中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，所述甜菜堿型兩性表面活性劑選自于α-烷基甜菜堿、椰油酰胺丙基甜菜堿、十二烷基磺基甜菜堿組成的組合中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，所述清洗的時(shí)間為4.5-5.5min。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，所述清洗的水溫為58.5-61.5℃；優(yōu)選的，所述清洗的水溫為59.5-60.5℃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，所述漂洗的時(shí)間為3-6min。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，所述漂洗的水溫為40-60.5℃；優(yōu)選的，所述漂洗的水溫為55-60.5℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，具有油污清洗劑的水中的油污清洗劑的質(zhì)量百分比為0.1％-6％；優(yōu)選的，具有油污清洗劑的水中的油污清洗劑的質(zhì)量百分比為0.5-3％。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，將所述CMP固定環(huán)投入以200-700r/min旋轉(zhuǎn)的具有油污清洗劑的水中進(jìn)行清洗；優(yōu)選的，將所述CMP固定環(huán)投入以300-600r/min旋轉(zhuǎn)的具有油污清洗劑的水中進(jìn)行清洗。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CMP固定環(huán)清洗方法，其特征在于，將所述CMP固定環(huán)投入以50-500r/min旋轉(zhuǎn)的水中進(jìn)行漂洗；優(yōu)選的，將所述CMP固定環(huán)投入以100-200r/min旋轉(zhuǎn)的水中進(jìn)行漂洗。
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