[發明專利]一種面板成膜設備

有效

• 申請號: 201810814089.3
• 申請日: 2018-07-23
• 公開（公告）號: CN108950502B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 丁志鵬;許健
• 申請（專利權）人: 張家港康得新光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/08;C03C17/245
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明公開了一種面板成膜設備，涉及觸控面板成型設備技術領域。該面板成膜設備包括腔室、位于腔室內的加熱器和保護板，加熱器設置于腔室的內壁與保護板之間，保護板上設置有掛條，掛條上設置有開口向下的凹槽，凹槽遠離板體的側壁上設置有插接孔；腔室的內壁設置有固定部，固定部能夠穿過插接孔伸入凹槽內。該面板成膜設備中通過在掛條上設置凹槽，凹槽不僅可以增加與固定部的接觸面積，從而提高固定部對保護板自由膨脹變形的限制能力，而且還可以提供足夠的空間吸收保護板的變形，從而減小掛條主體部分的變形，防止掛條脫落導致保護板自由變形量過大，降低面板成膜設備的保養頻率，從而降低保養成本。

技術領域

本發明涉及觸控面板成型設備技術領域，尤其涉及一種面板成膜設備。

背景技術

玻璃觸控面板中摻錫氧化銦(IndiumTinOxide，ITO)電極一般使用立式磁控濺射面板成膜設備加工而成。成膜時，玻璃基板溫度在250～350℃，磁控濺射面板成膜設備內的電阻式加熱器的溫度在500～650℃。為了保護加熱器，同時保證玻璃基板溫度均勻，磁控濺射面板成膜設備的腔室內在加熱器前方一般會安裝不銹鋼材質的保護板。

隨著磁控濺射面板成膜設備越做越大，加熱器和保護板的尺寸也在不斷變大。對于長期工作在500～650℃高溫下的保護板，保護板會受熱膨脹，從而導致保護板發生變形。當變形量超過一定值，就會造成保護板卡住玻璃基板臺車，導致玻璃基板的劃傷，甚至破片。為了解決這個問題，業界通常做法是通過增加玻璃基板臺車與保護板的距離。但這種做法需要增大磁控濺射面板成膜設備的腔體大小，增加抽氣泵，導致設備制作成本大幅增加。此外，臺車與加熱器的距離增大，加熱器的傳熱效率就會降低，為了保證加熱器足夠的傳熱效率，只能提高加熱器功率，從而導致設備用電成本的提高。

發明內容

本發明的目的在于提出一種面板成膜設備，該面板成膜設備中保護板變形小，降低保養頻率及成本。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種面板成膜設備，包括腔室、位于所述腔室內的加熱器和保護板，所述加熱器設置于所述腔室的內壁與所述保護板之間，所述保護板上設置有掛條，所述掛條上設置有開口向下的凹槽，所述凹槽靠近所述加熱器的側壁上設置有插接孔；所述腔室的內壁設置有固定部，所述固定部能夠穿過所述插接孔伸入所述凹槽內。

其中，所述插接孔向所述掛條的底部延伸形成缺口。

其中，所述掛條為長條型，所述掛條上沿長度方向設置有多個所述插接孔。

其中，所述保護板由不銹鋼制成。

其中，所述保護板上設置有至少兩個所述掛條，且至少兩個所述掛條沿所述保護板的高度方向排列。

其中，所述固定部包括連接端和插接端，所述連接端與腔體的內壁連接，所述插接孔的橫截面最大寬度大于所述連接端的橫截面最大寬度，并小于所述插接端的橫截面最大寬度。

其中，所述插接端的厚度d小于所述凹槽的寬度b。

其中，所述插接端的厚度d為1.5-2.5mm，所述凹槽的寬度b為6-8mm。

其中，所述凹槽的壁厚a為3-5mm。

其中，所述掛條的高度h為19-21mm。

有益效果：本發明提供了一種面板成膜設備。該面板成膜設備中保護板上設置有掛條，掛條設置有開口向下的凹槽，凹槽的側壁上設置有插接孔，插接孔用于與固定部配合以將保護板固定在腔室內。通過在掛條上設置凹槽，凹槽不僅可以增加與固定部的接觸面積，從而提高固定部對保護板自由膨脹變形的限制能力，而且還可以提供足夠的空間吸收保護板的變形，從而減小掛條主體部分的變形，防止掛條脫落導致保護板自由變形量過大，降低面板成膜設備的保養頻率，從而降低保養成本。

附圖說明