[發明專利]一種面板成膜設備

有效

• 申請號: 201810814089.3
• 申請日: 2018-07-23
• 公開（公告）號: CN108950502B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 丁志鵬;許健
• 申請（專利權）人: 張家港康得新光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/08;C03C17/245
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種面板成膜設備(100)，包括腔室(1)、位于所述腔室(1)內的加熱器(2)和保護板(3)，所述加熱器(2)設置于所述腔室(1)的內壁與所述保護板(3)之間，其特征在于，所述保護板(3)上設置有掛條(31)，所述掛條(31)上設置有開口向下的凹槽，所述凹槽靠近所述加熱器(2)的側壁上設置有插接孔(311)；所述腔室(1)的內壁設置有固定部，所述固定部能夠穿過所述插接孔(311)伸入所述凹槽內；

所述插接孔(311)向所述掛條(31)的底部延伸形成缺口；

所述固定部包括連接端(51)和插接端(52)，所述連接端(51)與腔體的內壁連接，所述插接孔(311)的橫截面最大寬度大于所述連接端(51)的橫截面最大寬度，并小于所述插接端(52)的橫截面最大寬度。

2.如權利要求1所述的面板成膜設備(100)，其特征在于，所述掛條(31)為長條型，所述掛條(31)上沿長度方向設置有多個所述插接孔(311)。

3.如權利要求1所述的面板成膜設備(100)，其特征在于，所述保護板(3)由不銹鋼制成。

4.如權利要求1所述的面板成膜設備(100)，其特征在于，所述保護板(3)上設置有至少兩個所述掛條(31)，且至少兩個所述掛條(31)沿所述保護板(3)的高度方向排列。

5.如權利要求1所述的面板成膜設備(100)，其特征在于，所述插接端(52)的厚度d小于所述凹槽的寬度b。

6.如權利要求5所述的面板成膜設備(100)，其特征在于，所述插接端(52)的厚度d為1.5-2.5mm，所述凹槽的寬度b為6-8mm。

7.如權利要求1所述的面板成膜設備(100)，其特征在于，所述凹槽的壁厚a為3-5mm。

8.如權利要求1所述的面板成膜設備(100)，其特征在于，所述掛條(31)的高度h為19-21mm。