[發明專利]一種硅片清洗設備

有效

• 申請號: 201810807376.1
• 申請日: 2018-07-21
• 公開（公告）號: CN109003920B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 牟恒
• 申請（專利權）人: 江蘇德爾科測控技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 趙麗麗

1.一種硅片清洗設備，包括：

兩運輸裝置，兩運輸裝置上下平行；

一傳送裝置，所述傳送裝置位于所述運輸裝置右側；

一清洗裝置，所述清洗裝置位于所述傳送裝置下側；

一干燥裝置，所述干燥裝置位于所述傳送裝置右側，

所述運輸裝置包括：

一固定桿，所述固定桿位于所述運輸裝置左端；

一運輸帶，所述運輸帶左端與所述固定桿連接；

一夾持器，所述夾持器與所述運輸帶連接，隨運輸帶左右移動；

一轉動電機，所述轉動電機與所述運輸帶右端連接；

所述傳送裝置包括三傳送帶，所述三傳送帶互相平行，并列傳送，每條傳送帶上均設有四個機械手，每條傳送帶邊緣均被金屬穩定片包裹；三傳送電機，所述三傳送電機為傳送電機一、傳送電機二、傳送電機三，所述三傳送電機分別位于所述三傳送帶內，用于給所述三傳送帶提供動力；

所述三傳送電機的轉葉設有缺口；每條傳送帶上的四個所述機械手外側對應與一條或兩條或三條傳送帶連接，所述機械手隨傳送帶一或傳送帶二或傳送帶三的運動而移動，所述機械手分布在不同的位置，所述機械手包括一機械臂，機械臂內設有旋轉電機一；

所述傳送電機一位于傳送帶一內，用于控制傳送帶二的運轉；所述傳送電機二和所述傳送電機三位于傳送帶二內，用于分別控制傳送帶一和傳送帶三的運轉，所述三傳送帶同時工作互不影響，每條傳送帶分別控制一組硅片的自動清洗、干燥。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗設備，其中，所述夾持器包括

一夾持電機，所述夾持電機上端嵌入所述運輸帶內，下端設有螺紋桿；

兩夾持板，所述夾持板為T字形，呈上下平行分布，所述兩夾持板上均設有螺紋孔；

一擋板，所述擋板為U字形，兩端與所述運輸帶連接，將所述兩夾持板保護在內側。

3.根據權利要求2所述的一種硅片清洗設備，其中，所述夾持電機底部設有一擋塊，所述擋塊與所述擋板連接。

4.根據權利要求1所述的一種硅片清洗設備，其中，所述清洗裝置包括

一底座，所述底座上設有一環帶，所述環帶上設有多個清洗單元，所述清洗單元包括

一硅片接收器，所述硅片接收器為V字形，中間有一卡槽；

一升降桿，所述升降桿上端與所述硅片接收器連接；

一升降電機，所述升降電機與升降桿下端連接，位于清洗液中。

5.根據權利要求1所述的一種硅片清洗設備，其中，所述干燥裝置包括多個干燥單元，所述干燥單元包括一硅片干燥臺，所述硅片干燥臺為圓形，與硅片的規格相適應；所述硅片干燥臺內部設有一加熱板，底部設有一旋轉電機二。

6.根據權利要求5所述的一種硅片清洗設備，其中，所述硅片干燥臺外沿上設有兩個硅片壓緊器和一個硅片旋轉壓緊器；所述硅片旋轉壓緊器下方的所述硅片干燥臺側邊設有一孔槽，所述硅片旋轉壓緊器穿過孔槽與所述旋轉電機二連接。

7.一種根據權利要求2所述的硅片清洗設備的清洗方法，包括以下步驟：

1)硅片放置在運輸裝置中的兩夾持板中間，夾持器夾持硅片，向右運輸；

2)傳送裝置中的機械手夾住硅片，向下傳送到清洗裝置處；

3)清洗裝置清洗硅片，循環一圈后再次被機械手夾住，向右上方傳送到干燥裝置處；

4)干燥裝置干燥硅片，完成后再次被機械手夾住，傳送至下一工位。