[發明專利]一種硅片清洗設備

有效

• 申請號: 201810807376.1
• 申請日: 2018-07-21
• 公開（公告）號: CN109003920B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 牟恒
• 申請（專利權）人: 江蘇德爾科測控技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 趙麗麗

本發明公開了一種硅片清洗設備，兩運輸裝置，用于硅片的長距離的直線運輸，兩運輸裝置上下平行，一傳送裝置，用于硅片的短距離的直線和曲線運輸，所述傳送裝置位于所述運輸裝置右側，一清洗裝置，所述清洗裝置位于所述傳送裝置下側；一干燥裝置，用于去除清洗后的硅片上殘留的清洗液，所述干燥裝置位于所述傳送裝置右側，實現單片硅片的自動清洗、干燥、傳送，提高工作效率。

技術領域

本發明涉及半導體制造設備領域，特別涉及到一種硅片清洗設備。

背景技術

半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗，微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物，這些雜質嚴重影響少數載流子壽命和表面電導，引起漏電等各種缺陷。對硅片的清洗極其復雜，特別是對單片硅片的清洗，在不損壞硅片的情況下進行清洗，更不能引入新的污染，這需要精密的設備和儀器。現有技術中對單片硅片的清洗難度大，一般是人工清洗或操作，耗時耗力，效率低，無法滿足生產要求。

發明內容

本發明的主要目的是提供一種硅片清洗設備，以解決現有技術中人工清洗操作耗時耗力、效率低的問題。

為達到上述目的之一，本發明采用以下技術方案：一種硅片清洗設備，包括

兩運輸裝置，用于硅片的長距離的直線運輸，兩運輸裝置上下平行；

一傳送裝置，用于硅片的短距離的直線和曲線運輸，傳送裝置位于運輸裝置右側；

一清洗裝置，用于對硅片進行全面清洗，清洗裝置位于傳送裝置下側；

一干燥裝置，用于去除清洗后的硅片上殘留的清洗液，干燥裝置位于傳送裝置右側；運輸裝置包括；

一固定桿，固定桿位于運輸裝置左端；

一運輸帶，運輸帶左端與固定桿連接，用于運輸硅片；

一夾持器，夾持器與運輸帶連接，可隨運輸帶左右移動，用于夾持硅片，實現硅片的運輸；

一轉動電機，轉動電機與運輸帶右端端連接，用于給運輸裝置提供動力。

根據本發明的一個實施例，其中，夾持器包括一夾持電機，夾持電機上端嵌入運輸帶內，下端設有螺紋桿；兩夾持板，夾持板為T字形，呈上下平行分布，兩夾持板上均設有螺紋孔；一擋板，擋板為U字形，兩端與運輸帶連接，將兩夾持板保護在內側。兩夾持板上的螺紋孔均位于夾持板凸出的位置，避免與硅片接觸，夾持電機下端的螺紋桿垂直穿過兩螺紋孔且相互配合，啟動夾持電機正轉，兩夾持板相互靠近，夾住硅片；啟動夾持電機反轉，兩夾持板相互遠離，松開硅片。擋板位于夾持器的最外側，且兩端與運輸帶連接，使夾持器在運輸過程中更加穩定，對硅片也具有保護作用。

根據本發明的一個實施例，其中，夾持電機底部設有一擋塊，擋塊與擋板連接，防止夾板意外脫落。

根據本發明的一個實施例，其中，傳送裝置包括三傳送帶，三傳送帶互相平行，并列傳送，每條傳送帶上均設有四個機械手，每條傳送帶邊緣均被金屬穩定片包裹；三傳送電機，傳送電機位于傳送帶內，用于給傳送帶提供動力。在工作過程中，三個傳送電機控制著三條傳送帶的運轉，將運輸裝置、清洗裝置、干燥裝置聯系在一起，實現硅片清洗設備的自動傳送。傳送帶邊緣的金屬穩定片具有穩定作用，使傳送帶在傳送過程中更加平穩、流暢。