[發明專利]一種硅片干燥裝置及其干燥方法

在審

• 申請號: 201810807276.9
• 申請日: 2018-07-21
• 公開（公告）號: CN109000440A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 牟恒
• 申請（專利權）人: 江蘇德爾科測控技術有限公司
• 主分類號: F26B9/08
• 分類號: F26B9/08;F26B21/00;F26B25/04
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 趙麗麗

本申請公開了一種硅片干燥裝置及其干燥方法，涉及硅片加工制造領域，包括：一種硅片干燥裝置，包括：一架體，所述架體具有：通孔，所述通孔連接所述架體內外，所述通孔至少為一個；一烘干裝置，所述烘干裝置包括：一吹風機，電阻加熱絲，一抽風機；一震動裝置；一放置裝置，所述放置裝置包括：一硅片烘干架，所述硅片烘干架通過所述通孔與所述震動裝置連接，解決了現有技術中硅片干燥效率低的問題。

技術領域

本發明涉及硅片加工制造領域，特別涉及到一種硅片干燥裝置及其干燥方法。

背景技術

在硅片的生產加工過程中，需要對硅片進行干燥，現有技術中的硅片干燥機大多使用熱風干處理，由于硅片存在細小劃痕、凹痕，會產生殘留液體，及待干燥的硅片表面殘留的液體水膜表面張力較大，上述現有技術中的硅片干燥機對硅片的干燥效率低，現有技術中還有利用超聲波信號除雜，但是超聲波通常需要在液體環境中應用，在對硅片干燥時難以應用，因此需要一種高效的硅片干燥裝置。

如在公告號為CN 205903720U的中國實用型新中，公開了一種帶有布袋除塵功能的硅片干燥機，其中：主動帶輪通過傳動帶與從動帶輪連接，從動帶輪與傳送輪同軸連接，傳送輪與傳送帶連接，機體與隔板固定連接，隔板設有氣孔，風機通過進氣管與加熱器連通，加熱器通過進風管道與機體連通，機體通過出風管道與布袋連通來干燥硅片。但是，上述技術方案中，僅單方地通過進風口及加熱器加熱流動氣體對硅片干燥，由于硅片中劃痕、凹痕里的殘留液體，以及由于硅片中殘留液體膜的表面張力作用，干燥殘留液體時，液體在干燥氣體中的揮發程度較小，導致對硅片的干燥效率低。

發明內容

本申請目的之一是提供一種硅片干燥裝置，解決現有技術中硅片干燥效率低的問題，使用本申請一種硅片干燥裝置，具有易于清潔硅片表面類似劃痕、凹痕等的殘留液體，及能破壞硅片表面殘留液體膜的表面張力，使硅片中殘留液體充分揮發并充分地與熱的氣體接觸，具有對硅片干燥效率高的效果。本申請的目的之二是提供一種與解決技術問題之一相對應的一種硅片干燥裝置的干燥方法。

為到達上述目的之一，本申請實施例采用以下技術方案：

一種硅片干燥裝置，包括：一架體，所述架體具有：通孔，所述通孔連接所述架體內外，所述通孔至少為一個；一烘干裝置，所述烘干裝置包括：一吹風機1，電阻加熱絲2，一抽風機3；一震動裝置；一放置裝置，所述放置裝置包括：一硅片烘干架4，所述硅片烘干架4通過所述通孔與所述震動裝置連接。

在上述技術方案中，本申請實施例通過設置震動裝置，吹風機1、電阻加熱絲2、抽風機3，震動裝置，解決了現有技術中硅片干燥效率低的問題。在本實施例中，通過震動裝置對硅片的震動，使硅片殘存液體震動，通過吹風機1吹入干燥氣體，氣體接觸電阻加熱絲2加熱，干燥硅片，抽風機3抽出濕熱氣體，減小架體內的濕度，使殘留的液體充分地與熱的氣體接觸，通過烘干裝置充分烘干硅片。

進一步地，根據本申請實施例，其中，所述吹風機1設置在所述架體的底部，所述抽風機3設置在所述架體的頂部，加速氣體對流。

更進一步地，根據本申請實施例，其中，所述電阻加熱絲2包括設置在所述架體內壁及所述吹風機1的上方，且設置在所述吹風機1上方的所述電阻加熱絲2與所述吹風機1之間留有間隙不接觸，使氣體充分與電阻加熱絲2接觸加熱。

進一步地，根據本申請實施例，其中，所述震動裝置包括一超聲波設備5，一超聲波換能器6，所述超聲波換能器6與所述超聲波設備5通過電線連接，一變幅桿7，所述變幅桿7一端與所述超聲波換能器6連接，另一端穿過所述通孔與所述硅片烘干架4連接，超聲波換能器6轉換超聲波能量為機械能，變幅桿7與超聲波換能器6從而傳遞機械震動，帶動硅片烘干架4內硅片震動，達到清潔硅片表面類似劃痕、凹痕等里的殘留液體，及能破壞硅片表面殘留液體膜的表面張力。