[發明專利]一種硅片干燥裝置及其干燥方法

在審

• 申請號: 201810807276.9
• 申請日: 2018-07-21
• 公開（公告）號: CN109000440A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 牟恒
• 申請（專利權）人: 江蘇德爾科測控技術有限公司
• 主分類號: F26B9/08
• 分類號: F26B9/08;F26B21/00;F26B25/04
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 趙麗麗

1.一種硅片干燥裝置，包括：

一架體，所述架體具有：通孔，所述通孔連接所述架體內外，所述通孔至少為一個；

一烘干裝置，所述烘干裝置包括：一吹風機(1)，電阻加熱絲(2)，一抽風機(3)；

一震動裝置；

一放置裝置，所述放置裝置包括：一硅片烘干架(4)，所述硅片烘干架(4)通過所述通孔與所述震動裝置連接。

2.根據權利要求1所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述吹風機(1)設置在所述架體的底部，所述抽風機(3)設置在所述架體的頂部。

3.根據權利要求2所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述電阻加熱絲(2)包括設置在所述架體內壁及所述吹風機(1)的上方，且設置在所述吹風機(1)上方的所述電阻加熱絲(2)與所述吹風機(1)之間留有間隙不接觸。

4.根據權利要求1所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述震動裝置包括：

一超聲波設備(5)，

一超聲波換能器(6)，所述超聲波換能器(6)與所述超聲波設備(5)通過電線連接，

一變幅桿(7)，所述變幅桿(7)一端與所述超聲波換能器(6)連接，另一端穿過所述通孔與所述硅片烘干架(4)連接。

5.根據權利要求4所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述通孔與所述變幅桿(7)之間留有空隙，所述空隙中設置有棉性材料(8)。

6.根據權利要求1所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述硅片烘干架(4)包括：

硅片烘干架入口(401)；

硅片烘干架入風口(402)，所述硅片烘干架入口(401)內部與硅片烘干架入風口(402)內部相連通，所述硅片烘干架(4)至少設置有一組所述硅片烘干架入口(401)、所述硅片烘干架入風口(402)。

7.根據權利要求1所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述架體頂部設置有：

一門板，所述門板上設置有熱氣孔。

8.根據權利要求7所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述架體頂部設置有：

一轉軸(9)；所述門板通過所述轉軸(9)與架體可動連接。

9.根據權利要求7所述的一種硅片干燥裝置，其中，所述門板具有一門把手(10)。

10.根據權利要求1-9所述的一種硅片干燥裝置的干燥方法，包括以下步驟：

(1)第一步：拉動把手(10)，打開門板，從設置于硅片烘干架(4)中心的硅片烘干架入口(401)將待干燥硅片放入，再閉合門板；

(2)第二步：電阻加熱絲(2)通電加熱，同時開啟吹風機(1)及抽風機(3)，所述吹風機(1)向上吹入氣體，氣體首先經過電阻加熱絲(2)加熱，熱的氣體再吹入設置于所述硅片烘干架入風口(402)干燥硅片，最后所述抽風機(3)將較濕冷氣體抽出；

(3)第三步：啟動超聲波設備(5)，啟動超聲波換能器(6)，所述超聲波設備(5)發出超聲波信號，所述超聲波換能器(6)將超聲波轉換成變幅桿(7)的機械震動，所述變幅桿(7)帶動硅片烘干架(4)內的硅片震動，所述超聲波設備(5)以兩分鐘工作，一分鐘間斷的加載方式工作；

(4)第四步：拉動把手(10)，打開門板，將干燥好的硅片取出，重復以上操作步驟。