[發(fā)明專利]一種CVD石墨烯的無(wú)污染轉(zhuǎn)移工藝獲得氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810803422.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-20
• 公開（公告）號(hào): CN108910870B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李昕;王常;劉衛(wèi)華;趙丹;王旭明;賈唐浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué);廣東順德西安交通大學(xué)研究院
• 主分類號(hào): C01B32/194
• 分類號(hào): C01B32/194;C01B32/198;G01N27/12
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 徐文權(quán)

1.一種CVD石墨烯的無(wú)污染轉(zhuǎn)移工藝獲得氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1)，在具有金屬襯底的CVD石墨烯的石墨烯表面旋涂氧化石墨烯分散液，得到結(jié)構(gòu)A；

步驟2)，再烘結(jié)構(gòu)A，去除旋涂的氧化石墨烯與石墨烯中的水分，使氧化石墨烯與石墨烯形成復(fù)合結(jié)構(gòu)，并對(duì)氧化石墨烯與石墨烯的復(fù)合結(jié)構(gòu)進(jìn)行退火；

步驟3)，再去除步驟2)所得結(jié)構(gòu)的金屬襯底，得到氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜；

步驟4)，再對(duì)步驟3)得到的復(fù)合薄膜進(jìn)行漂洗，得到干凈的復(fù)合薄膜；

所述步驟3)的具體過(guò)程如下：

將結(jié)構(gòu)A的金屬襯底面朝下，放置于刻蝕溶液液面上，使結(jié)構(gòu)A的金屬襯底去除；

CVD石墨烯為單層石墨烯；

所述步驟1)中，氧化石墨烯分散液的制備過(guò)程如下：

向每40ml去離子水中加入5-50mg氧化石墨烯，得到混合物A，再對(duì)混合物A震蕩10-60分鐘，然后超聲4-24小時(shí)，得到分散均勻的氧化石墨烯分散液；

所述步驟1)中，在石墨烯表面旋涂氧化石墨烯分散液時(shí)，轉(zhuǎn)速為100-1000轉(zhuǎn)/分鐘，時(shí)間為30-90秒；

步驟2)中，結(jié)構(gòu)A在40-80℃烘1-30分鐘。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD石墨烯的無(wú)污染轉(zhuǎn)移工藝獲得氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜的方法，其特征在于，CVD石墨烯的金屬襯底為銅襯底、鎳襯底、釕襯底或鎳金合金襯底。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD石墨烯的無(wú)污染轉(zhuǎn)移工藝獲得氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜的方法，其特征在于，刻蝕液為過(guò)硫酸銨溶液、三氯化鐵溶液或碘與碘化鉀混合溶液，刻蝕時(shí)間為4-24小時(shí)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD石墨烯的無(wú)污染轉(zhuǎn)移工藝獲得氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜的方法，其特征在于，在去除結(jié)構(gòu)A的金屬襯底前，先用去離子水對(duì)結(jié)構(gòu)A的金屬襯底進(jìn)行沖洗，再吹干結(jié)構(gòu)A。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD石墨烯的無(wú)污染轉(zhuǎn)移工藝獲得氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜的方法，其特征在于，所述步驟4)中，采用浸漬提拉法對(duì)步驟3)得到的復(fù)合薄膜轉(zhuǎn)移到去離子水中漂洗10-120分鐘。

6.一種CVD石墨烯的無(wú)污染轉(zhuǎn)移工藝獲得氧化石墨烯與石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜，其特征在于，所述復(fù)合薄膜通過(guò)權(quán)利要求1-5任意一項(xiàng)所述的方法獲得。