[發(fā)明專利]一種物料優(yōu)化調(diào)度的方法和設(shè)備

在審

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• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN109034596A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔琳
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q10/04;G06Q50/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 潘軍

本發(fā)明提供了一種物料優(yōu)化調(diào)度的方法，包括：獲取系統(tǒng)所需運行的物料列表和工藝順序，所述物料包括晶片和晶片傳送盒；對物料列表中的每個物料進行查詢，以確定各個物料的當前狀態(tài)；根據(jù)各個物料的當前狀態(tài)和工藝順序，模擬計算各條物料運行路徑；所述運行路徑為各個物料在時間上的移動序列集合；根據(jù)各條運行路徑的工藝時間效率評估上述各條物料運行路徑，將系統(tǒng)工藝時間效率最大的運行路徑作為最優(yōu)運行路徑保存至調(diào)度隊列；根據(jù)調(diào)度隊列中的運行路徑對各個物料進行調(diào)度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及工藝數(shù)據(jù)處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種半導體制造產(chǎn)業(yè)中物料優(yōu)化調(diào)度的方法和設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，要求半導體工藝生產(chǎn)線具備更好的質(zhì)量、更低的制造成本、快速響應(yīng)以及靈活性的特點，這些特點將影響半導體制造的產(chǎn)率和反應(yīng)能力。

生產(chǎn)計劃與調(diào)度系統(tǒng)能夠在一定程度上幫助半導體制造企業(yè)實現(xiàn)這些特點。調(diào)度系統(tǒng)是實現(xiàn)半導體制造企業(yè)生產(chǎn)管理優(yōu)化的重要環(huán)節(jié)，是實現(xiàn)企業(yè)信息化不可或缺的重要組成部分。本發(fā)明即是針對半導體制造產(chǎn)業(yè)中晶片加工工藝過程中的如果能夠最優(yōu)化的實現(xiàn)物料調(diào)度而提出的。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提供了一種物料優(yōu)化調(diào)度的方法，包括：獲取系統(tǒng)所需運行的物料列表和工藝順序，所述物料包括晶片和晶片傳送盒；對物料列表中的每個物料進行查詢，以確定各個物料的當前狀態(tài)；根據(jù)各個物料的當前狀態(tài)和工藝順序，模擬計算各條物料運行路徑；所述運行路徑為各個物料在時間上的移動序列集合；根據(jù)各條運行路徑的工藝時間效率評估上述各條物料運行路徑，將系統(tǒng)工藝時間效率最大的運行路徑作為最優(yōu)運行路徑保存至調(diào)度隊列；根據(jù)調(diào)度隊列中的運行路徑對各個物料進行調(diào)度。

其中，所述各個物料的當前狀態(tài)包括各個物料在當前時間點是否可以移動的狀態(tài)或者各個物料在當前時間點的移動優(yōu)先級狀態(tài)。

其中，在模擬計算各條物料運行路徑時，運行路徑上的每一步前進代表物料中的某一物料移動一次。

其中，所述模擬計算各條物料運行路徑包括：設(shè)置運行路徑的起點和搜索深度，對某一條運行路徑進行遍歷直至達到搜索深度并計算該條運行路徑的遍歷時間；返回起點對另一條運行路徑進行遍歷直至搜索深度并計算該條運行路徑的遍歷時間；重復以上兩個步驟以對各條運行路徑進行遍歷直至搜索深度并計算各條運行路徑的遍歷時間。

所述物料優(yōu)化調(diào)度的方法還包括：在對運行路徑進行遍歷的過程中在運行路徑上的每一步前進都實時更新各個物料的當前狀態(tài)，并將各個物料的最新當前狀態(tài)存儲到物料列表中以供運行路徑的下一步前進選擇。

其中，所述搜索深度指的是預先設(shè)定的運行路徑的前進步數(shù)。

其中，當所述物料為晶片時，利用機械手的手指屬性，調(diào)整一次取放的晶片數(shù)量。優(yōu)選地，所述晶片數(shù)量為1至5中的任意一個數(shù)。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明提供了一種物料優(yōu)化調(diào)度的裝置，包括：數(shù)據(jù)獲取模塊，用于獲取系統(tǒng)所需運行的物料列表和工藝順序，所述物料包括晶片和晶片傳送盒；狀態(tài)確定模塊，用于對物料列表中的每個物料進行查詢，以確定各個物料的當前狀態(tài)。模擬計算模塊，用于根據(jù)各個物料的當前狀態(tài)和工藝順序，模擬計算各條物料運行路徑；所述運行路徑為各個物料在時間上的移動序列集合；評估模塊，用于根據(jù)各條運行路徑的工藝時間效率評估上述各條物料運行路徑，將系統(tǒng)工藝時間效率最大的運行路徑評估為最優(yōu)運行路徑；存儲模塊，用于存儲所述物料列表和工藝順序，以及將所述最優(yōu)運行路徑保存至調(diào)度隊列；調(diào)度模塊，用于根據(jù)調(diào)度隊列中的運行路徑對各個物料進行調(diào)度。

其中，所述各個物料的當前狀態(tài)包括各個物料在當前時間點是否可以移動的狀態(tài)或者各個物料在當前時間點的移動優(yōu)先級狀態(tài)。