[發明專利]解凍設備及其操作方法

有效

• 申請號: 201810799956.0
• 申請日: 2018-07-20
• 公開（公告）號: CN108924982B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: P·M·J·皮埃爾;L·莫金;J·西蒙;J·E·司各特;邱小飛
• 申請（專利權）人: 恩智浦美國有限公司
• 主分類號: H05B6/66
• 分類號: H05B6/66;H05B6/68;A23L3/365
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 劉倜

1.一種熱增加系統(300，900)，其耦合到用于容納裝料(364，964)的腔室(360，960)，其特征在于，所述熱增加系統包括：

射頻RF信號源(320，920，920')，其被配置成供應RF信號；

接近于第一腔室壁的第一電極(940)和接近于相對的第二腔室壁的第二電極(950)，所述第一電極和所述第二電極與其余的腔室壁電隔離；

傳輸路徑(328，928)，其電耦合于所述RF信號源與跨越所述腔室定位的所述第一電極(940)和所述第二電極(950)之間；

阻抗匹配網絡(370，400，972，1000，1100)，其沿著所述傳輸路徑電耦合，其中所述阻抗匹配網絡包括可變無源組件(410，411，501-504，1011，1016，1021，1111-1114，1016-1019，1021，1023)的網絡；

功率檢測電路(330，930，930'，930”)，其被配置成檢測沿著所述傳輸路徑的反射信號功率；以及

控制器(312，912)，其被配置成基于所述反射信號功率修改所述阻抗匹配網絡的所述可變無源組件中的一個或多個的一個或多個值以減少所述反射信號功率。

2.根據權利要求1所述的熱增加系統，其特征在于，所述RF信號源被配置成產生非平衡RF信號，且所述系統進一步包括：

轉換設備(974)，其具有耦合到所述RF信號源的輸出的輸入以及耦合到所述第一和第二電極(940，950)的兩個輸出，其中所述RF信號轉換裝置被配置成在所述輸入處接收所述非平衡RF信號，將所述非平衡RF信號轉換為包括第一和第二平衡RF信號的平衡RF信號，且在所述兩個輸出處產生所述第一和第二平衡RF信號。

3.根據權利要求2所述的熱增加系統，其特征在于，所述轉換設備包括平衡-不平衡變壓器(974)。

4.根據在前的任一項權利要求所述的熱增加系統，其特征在于，所述RF信號源包括平衡放大器(924')，所述平衡放大器被配置成在所述RF信號源的兩個輸出處產生兩個平衡RF信號，其中所述兩個輸出耦合到所述第一和第二電極。

5.根據權利要求1-3中任一項所述的熱增加系統，其特征在于，所述阻抗匹配網絡是包括以下各項的雙端可變阻抗匹配網絡(1000，1100)：

第一和第二輸入(1001-1，1001-2，1101-1，1101-2)；

第一和第二輸出(1002-1，1002-2，1102-1，1102-2)；

第一可變阻抗電路(1011)，其連接于所述第一輸入與所述第一輸出之間；以及

第二可變阻抗電路(1016)，其連接于所述第二輸入與所述第二輸出之間。

6.根據權利要求5所述的熱增加系統，其特征在于：

所述第一可變阻抗電路包括串聯連接于所述第一輸入與所述第一輸出之間的多個第一無源組件(1111-1114)以及多個第一旁路開關(1131-1134)，其中所述第一旁路開關中的每一個跨越所述第一無源組件中的一個的端并聯連接，且所述第一旁路開關中的每一個的導電狀態是通過來自所述控制器(912)的控制信號(1151-1154)控制；且

所述第二可變阻抗電路包括串聯連接于所述第二輸入與所述第二輸出之間的多個第二無源組件(1116-1119)以及多個第二旁路開關(1136-1139)，其中所述第二旁路開關中的每一個跨越所述第二無源組件中的一個的端并聯連接，且所述第二旁路開關中的每一個的導電狀態是通過來自所述控制器(912)的控制信號(1156-1159)控制。