[發明專利]一種針對酸性氣體、粉塵顆粒的廢氣的后端凈化裝置在審
| 申請號: | 201810792667.8 | 申請日: | 2018-07-18 |
| 公開(公告)號: | CN108619879A | 公開(公告)日: | 2018-10-09 |
| 發明(設計)人: | 楊春水;曹小康;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩 | 申請(專利權)人: | 安徽京儀自動化裝備技術有限公司 |
| 主分類號: | B01D53/75 | 分類號: | B01D53/75;B01D53/86;B01D53/44;B01D50/00;B01D47/06 |
| 代理公司: | 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138 | 代理人: | 鄭直 |
| 地址: | 241000 安徽省蕪湖*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 廢氣 粉塵顆粒 凈化裝置 酸性氣體 凈水箱 水洗室 冷卻塔 廢水 半導體制造過程 有機物反應 處理設備 高溫氣體 工藝氣體 過濾凈化 冷卻降溫 排放標準 水流沖洗 水洗噴淋 循環利用 裝置結構 出氣口 反應腔 反應室 掉落 排出 | ||
1.一種針對酸性氣體、粉塵顆粒的廢氣的后端凈化裝置,其特征在于:包括反應腔(1)、后端水洗室(3)、冷卻塔(6)和廢水凈水箱(5),所述反應室(1)包括反應腔(101)、主進氣法蘭(102)、輔進氣法蘭(103)和輔進料法蘭(104)、出氣法蘭(105),所述主進氣法蘭(102)和輔進氣法蘭(103)分別焊接在反應腔(101)的頂部中間和頂部兩邊,所述輔進料法蘭(104)焊接在反應腔(101)的中部,所述出氣法蘭(105)焊接在反應腔(101)的底部并通過連接管道一(2)和后端水洗室(3)相連;所述后端水洗室(3)包括后端水洗腔(301)和噴頭法蘭一(302),所述噴頭法蘭一(302)對稱設于后端水洗腔(301)的兩側并內設有噴頭一(303),所述后端水洗腔(301)的頂部左側設有進氣端并和連接管道二(2)相連,頂部右邊設有出氣端并和冷卻塔(6)相連,所述后端水洗腔(301)的底部設有排水法蘭(304)并通過連接管道二(4)和廢水凈水箱(5)連接;所述冷卻塔(6)的內部均布設有冷卻板(601),所述冷卻塔(6)的外部中間和上部分別焊接有噴水法蘭二(602)和噴水法蘭三(604),所述噴水法蘭二(602)和噴水法蘭三(604)內設有噴頭二(603)和噴頭三(605),所述冷卻塔(6)的頂部水平設有出氣口(607)。
2.根據權利要求1所述的一種針對酸性氣體、粉塵顆粒的廢氣的后端凈化裝置,其特征在于:所述廢水凈水箱(5)包括箱體(501)和進水法蘭(502),所述進水法蘭(502)焊接在箱體(501)的頂部左邊,所述進水法蘭(502)通過連接管道二(4)和排水法蘭(304)相連,所述箱體(501)的內部中間設有過濾板(504)并通過固定架二(505)豎直固定在箱體(501)的內部,所述箱體(501)的右側下部設有出水法蘭(503)。
3.根據權利要求2所述的一種針對酸性氣體、粉塵顆粒的廢氣的后端凈化裝置,其特征在于:所述出水法蘭(503)連接有增壓水泵(7),所述增壓水泵(7)的進水端和出水法蘭(503)連接,增壓水泵(7)的出水端連接有分流接口(8),所述分流接口(8)連接有連接管道三(9)、連接管道四(10)、連接管道五(11)、連接管道六(12),所述連接管道三(9)和連接管道四(10)分別和后端水洗腔(301)內部兩側的噴頭一(303)連接,所述連接管道五(11)和連接管道六(12)分別和冷卻塔(6)內部的噴頭三(603)和噴頭四(605)連接。
4.根據權利要求1所述的一種針對酸性氣體、粉塵顆粒的廢氣的后端凈化裝置,其特征在于:所述連接管道一(2)上設有電動閥(201)。
5.根據權利要求1所述的一種針對酸性氣體、粉塵顆粒的廢氣的后端凈化裝置,其特征在于:所述冷卻塔(6)的頂部和出氣口(607)安裝處還安裝有過濾袋(606)。
6.根據權利要求1所述的一種針對酸性氣體、粉塵顆粒的廢氣的后端凈化裝置,其特征在于:所述冷卻板(601)的材質為多孔的氧化鋁陶瓷。
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